[发明专利]臭氧气体的浓缩方法以及臭氧气体的浓缩装置

说明书

提供一种臭氧气体的浓缩方法以及实现该浓缩方法的臭氧气体的浓缩装置(1)，臭氧气体的浓缩方法包括如下工序：向保持有吸附臭氧气体的吸附剂的吸附容器(20)内导入包含臭氧气体的原料混合气体，使吸附剂吸附臭氧气体；将与吸附容器(20)连接为能够切换连通的状态与不连通的状态的浓缩容器(30)的内部在与吸附容器不连通的状态下减压；以及切换为连通内部被减压的浓缩容器(30)与保持吸附有臭氧气体的吸附剂的吸附容器(20)的状态而通过浓缩容器(30)内与吸附容器(20)内的压力差而使吸附于吸附剂的臭氧气体脱附并输送至浓缩容器(30)内，由此向浓缩容器(30)内导入臭氧气体的浓度比原料混合气体高的浓缩混合气体。

技术领域

本发明涉及臭氧气体的浓缩方法以及臭氧气体的浓缩装置。

背景技术

臭氧气体具有较强的氧化力，除臭力、除菌力优异。并且，分解之后不残留毒性。因此，广泛应用于除臭剂、杀菌剂、半导体的氧化处理等。

臭氧气体例如能够通过在包含氧气的环境气体中进行放电来生成。然而，这样生成的臭氧气体的浓度较低，因此为了实际使用而需要浓缩臭氧气体而提高臭氧气体的浓度。作为这样的臭氧气体的浓缩方法的一个例子，提出了如下方法：在使臭氧气体吸附于吸附塔内的吸附剂之后，利用与吸附塔连接的真空泵对吸附塔进行减压，由此使臭氧气体从吸附剂脱附，对臭氧气体进行浓缩精制(例如，参照专利文献1)。

另外，提出了如下方法：通过利用与吸附塔连接的真空泵对吸附塔内进行减压，由此使吸附于吸附塔内的吸附剂的臭氧气体脱附，向配置于真空泵的下游侧的缓冲罐供给臭氧气体(例如，参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-56810号公报

专利文献2：国际公开第2008/062534号

发明内容

发明要解决的课题

然而，在现有的臭氧气体的浓缩方法存在几项课题。例如，在专利文献1以及专利文献2所示的方法中，在使臭氧气体从吸附塔内的吸附剂脱附时，利用真空泵进行减压。此时，由于在吸附塔内浓缩的臭氧气体通过真空泵内部，由此接触气体部、尤其是可动部中的臭氧抗性有时成为问题。其结果是，需要选择特殊材质的元件，并且修理、更换等维护的频率升高，也存在阻碍稳定的运转的情况。

本发明的目的在于，提供能够实现稳定的运转的臭氧气体的浓缩方法以及臭氧气体的浓缩装置。

用于解决课题的手段

根据本发明的臭氧气体的浓缩方法包括如下工序：向保持有用于吸附臭氧气体的吸附剂的吸附容器内导入包含臭氧气体的原料混合气体，使吸附剂吸附臭氧气体；将与吸附容器连接为能够切换连通的状态与不连通的状态的浓缩容器的内部在与吸附容器不连通的状态下减压；以及将内部被减压的浓缩容器与保持吸附有臭氧气体的吸附剂的吸附容器切换为连通的状态并利用浓缩容器内与吸附容器内的压力差使吸附于吸附剂的臭氧气体脱附并输送至浓缩容器内，由此向浓缩容器内导入臭氧气体的浓度比原料混合气体高的浓缩混合气体。

在根据本发明的臭氧气体的浓缩方法中，将浓缩容器的内部在不与吸附容器连通的状态下减压之后，切换为连通浓缩容器与吸附容器的状态而将浓缩混合气体导入到浓缩容器内。因此，浓缩混合气体朝向浓缩容器的导入无需使臭氧通过真空泵等减压装置的内部就能够实施。其结果是，能够减少真空泵等减压装置的修理、更换等维护的频率，实现稳定的运转。