[发明专利]抗蚀剂的剥离液

说明书

提供一种抗蚀剂的剥离液，其特征为：含有季铵盐、与链烷醇胺和脂肪族胺，利用这种抗蚀剂的剥离液，即使经过长期使用而有碳酸溶解，其性能也难以降低。

技术领域

本发明涉及能够从实施有抗蚀剂的基材上剥离抗蚀剂的抗蚀剂的剥离液。

背景技术

在印刷线路板的制造、主要是在半加成法中所用的抗蚀剂(干膜)的剥离液中，随着微细布线化而使用胺系的剥离液。

但是，已知现有的胺系的抗蚀剂的剥离液伴随空气中的二氧化碳的溶解，碳酸盐类累积，由此剥离性能降低。

因此，为了解决该剥离性能降低的问题，报告有如下技术：使剥离液电解再生，向剥离处理室送入除去了二氧化碳的空气，抑制剥离液的性能降低等(专利文献1、2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012－79830号公报

专利文献2：日本特开2013－183080号公报

发明内容

但是，这些技术不能防止碳酸向抗蚀剂的剥离液中的溶解，因此本发明的课题为，提供一种即使碳酸溶解，性能也难以降低的剥离液。

本发明者们为了解决上述课题而锐意研究，其结果发现，作为至今用于抗蚀剂的剥离液的胺，通过使用结构不同的两种，即使是碳酸溶解，性能也不会比现有的剥离液有所降低，从而完成了本发明。

即，本发明是一种抗蚀剂的剥离液，其特征在于，含有季铵盐、与链烷醇胺和脂肪族胺。

另外，本发明是一种抗蚀剂的剥离液套件，其特征在于，含有含链烷醇胺和脂肪族胺的第一液、和含季铵盐的第二液。

此外，本发明是一种电镀抗蚀剂的除去方法，其特征在于，用上述抗蚀剂的剥离液，对实施有抗蚀剂的基材进行处理。

此外，本发明是一种印刷线路板、半导体基板、平板显示器或引线框的制造方法，其特征在于，是含有从实施有抗蚀剂的基材上除去抗蚀剂的的工序的印刷线路板、半导体基板、平板显示器或引线框的制造方法，使用上述抗蚀剂的剥离液进行抗蚀剂的除去。

本发明的抗蚀剂的剥离液，即使经过长期使用，碳酸溶解于液中，性能也不会比现有的剥离液有所降低。

另外，本发明的抗蚀剂的剥离液，即使经过长期使用后，只要补充消耗成分(例如，季铵盐)，性能也会恢复。

具体实施方式

本发明的抗蚀剂的剥离液(以下，仅称为“本发明剥离液”)所使用的季铵盐，没有特别限定，例如，可列举氢氧化四乙铵、氢氧化四甲铵等。这些季铵盐能够使用一种或两种以上。本发明剥离液中的季铵盐的含量没有特别限定，例如，为1～25g/L，优选为5～20g/L。

本发明剥离液所使用的链烷醇胺没有特别限定，例如，可列举单乙醇胺、三乙醇胺、2－(二甲基氨基)乙醇等。这些链烷醇胺能够使用一种或两种以上。本发明剥离液中的链烷醇胺的含量没有特别限定，例如，为10～150g/L，优选为40～100g/L。

本发明剥离液所使用的脂肪族胺没有特别限定，例如，可列举乙二胺、三乙胺、六亚甲基二胺等。这些脂肪族胺能够使用一种或两种以上。本发明剥离液中的脂肪族胺的含量没有特别限定，例如，为0.5～40g/L，优选为8～25g/L。

在本发明剥离液中，上述链烷醇胺和脂肪族胺的组合没有特别限定，例如，优选上述链烷醇胺是单乙醇胺，脂肪族胺是三乙胺或乙二胺，更优选乙二胺。

本发明剥离液中，也可以还含有有机溶剂。本发明剥离液所使用的有机溶剂没有特别限定，例如，可列举亚砜类、二醇类、内酰胺类等。