[发明专利]金属蒸发材料有效
| 申请号： | 201780027018.2 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN109072413B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 仓内利春 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C22C5/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郭煜;杨戬 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 蒸发 材料 | ||
【权利要求书】：
1.金属蒸发材料，其具有以低于0.01wt%的范围内含有杂质的Au作为母材的金属材料、和
向所述金属材料中添加的添加金属，其特征在于，
所述添加金属具有：
在700℃以上的温度下蒸气压低于相同温度的所述母材的蒸气压的1/10000的金属低蒸气压性、和
与所述金属蒸发材料中含有的气体反应而生成反应产物的反应性，
所述反应产物具有在700℃以上的温度下蒸气压低于相同温度的所述母材的蒸气压的1/10000的产物低蒸气压性，
所述添加金属包含Ta、Zr、Hf、或Nb的金属元素之中至少任意一种以上的所述金属元素。
2.根据权利要求1所述的金属蒸发材料，其中，所述金属蒸发材料与由高熔点金属形成的高熔点金属容器接触配置并熔融。
3.根据权利要求2所述的金属蒸发材料，其中，由所述高熔点金属释放的气体中含有氧气，所述反应产物是所述添加金属的氧化物。
4.根据权利要求2或3中任一项所述的金属蒸发材料，其中，所述高熔点金属是W和Mo中任一者。
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