[发明专利]用于改进的基板运送组件的系统、设备及方法

权利要求书

1.一种基板运送组件，包括：

一对致动臂；

一对基板撷取尖端，每个撷取尖端形成在每个致动臂的不同远端中；

致动器，所述致动器耦合到所述致动臂的近端并且可经操作以致动所述致动臂；及

硬停器，所述硬停器经定位以防止所述致动器使所述致动臂关闭超过预定量，使得在关闭位置中，所述致动臂不接触经定位以被所述基板运送组件拾取的基板。

2.如权利要求1所述的基板运送组件，进一步包括枢转组件，所述枢转组件包括一对辊轴承，每个辊轴承在枢转位置处耦合到不同的致动臂。

3.如权利要求1所述的基板运送组件，其中所述一对致动臂以剪刀构造进行布置。

4.如权利要求1所述的基板运送组件，其中所述撷取尖端包含轮廓基板袋，所述轮廓基板袋经配置以在从基板的中心下方垂直升起时撷取基板，所述基板处于垂直定向。

5.如权利要求4所述的基板运送组件，其中所述轮廓基板袋包括运动导入表面，所述运动导入表面经适配以随着所述撷取尖端从所述基板的所述中心下方垂直升起而引导基板边缘进入所述基板袋的凹槽中。

6.如权利要求1所述的基板运送组件，其中所述致动器包括气动缸及液压缸中的至少一者。

7.如权利要求1所述的基板运送组件，其中所述致动臂经适配以浸入流体中，以拾取并放置基板。

8.一种流通束机器人，包括：

支架，所述支架跨越多个处理站上方；

基板运送组件，所述基板运送组件从所述支架悬挂并经适配以沿着所述支架移动到所述处理站中的每一个；

升降机，所述升降机经适配以升高及降低所述基板运送组件；及

控制器，所述控制器经操作以控制所述基板运送组件的操作及定位，其中所述基板运送组件包括：

一对致动臂；

一对基板撷取尖端，每个撷取尖端形成在每个致动臂的不同远端中；

致动器，所述致动器耦合到所述致动臂的近端并且可经操作以致动所述致动臂；及

硬停器，所述硬停器经定位以防止所述致动器使所述致动臂关闭超过预定量，使得在关闭位置中，所述致动臂不接触经定位以被所述基板运送组件拾取的基板。

9.如权利要求8所述的流通束机器人，其中所述基板运送组件进一步包括枢转组件，所述枢转组件包括一对辊轴承，每个辊轴承在枢转位置处耦合到不同的致动臂，

其中所述一对致动臂以剪刀构造进行布置，以及

其中所述撷取尖端包含轮廓基板袋，所述轮廓基板袋经配置以在从基板的中心下方垂直升起时撷取基板，所述基板处于垂直定向。

10.如权利要求9所述的流通束机器人，其中所述轮廓基板袋包括运动导入表面，所述运动导入表面经适配以随着所述撷取尖端从所述基板的所述中心下方垂直升起而引导基板边缘进入所述基板袋的凹槽中。

11.一种运送基板的方法，所述方法包括以下步骤：

将基板运送组件的一对基板撷取尖端定位在垂直定位的基板的中心下方；

将所述撷取尖端朝向彼此移动，使得所述撷取尖端之间的距离小于所述基板的直径；及

升高所述撷取尖端以接合所述基板的边缘，并且将所述基板固定在由所述撷取尖端形成的基板袋中。

12.如权利要求11所述的方法，进一步包括以下步骤：提供所述基板运送组件，所述基板运送组件包括：

一对致动臂；

所述一对基板撷取尖端，每个撷取尖端形成在每个致动臂的不同远端中；

致动器，所述致动器耦合到所述致动臂的近端并且可经操作以致动所述致动臂；及

硬停器，所述硬停器经定位以防止所述致动器使所述致动臂关闭超过预定量，使得在关闭位置中，所述致动臂不接触经定位以被所述基板运送组件拾取的所述基板。