[发明专利]线锯装置及工件的切断方法有效

专利信息
申请号: 201780027731.7 申请日: 2017-06-30
公开(公告)号: CN109153104B 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 宇佐美佳宏 申请(专利权)人: 信越半导体株式会社
主分类号: B24B27/06 分类号: B24B27/06;B24B49/10;B28D5/04;H01L21/304
代理公司: 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 代理人: 许天易
地址: 日本东京都千*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 装置 工件 切断 方法
【权利要求书】:

1.一种线锯装置,包含:伸出钢线的钢线供给轴盘、通过螺旋状缠绕于多个钢线导线器的周围的该钢线而形成的钢线列、卷收该钢线的钢线卷收轴盘、以及将切断目标的工件予以支承的工件支承部,该线锯装置将被该工件支承部所支承的该工件予以推压至以至少重复前进后退1次以上而行进的该钢线列而进行切断加工,

其中该线锯装置具备装设于该工件支承部的振动传感器、检测该钢线张力的荷重元,以及于工件的切断之前基于在不使该工件接触于该钢线的状态下,使该钢线至少重复前进后退1次以上而行进时该振动传感器或该荷重元的检测结果以判断该线锯装置的正常或异常的监控PC。

2.一种工件的切断方法,使用如权利要求1所述的线锯装置而切断工件,该工件切断方法包含:

判断步骤,于该工件的切断之前,在不使该工件接触于该钢线的状态下,使该钢线至少重复前进后退1次以上而行进的同时,进行以该荷重元所检测出的该钢线的张力以及以该振动传感器所检测出的振动的至少其中一者的测定,使用经测定的该测定值而进行该线锯的正常或异常的判断;以及

切断步骤,于该线锯装置被判断为正常的情况,进行该工件的切断。

3.如权利要求2所述的工件的切断方法,其中于该判断步骤中,使用该测定值进行管制图管制,于该测定值在管制值界限外的情况,判断该线锯装置为异常,并于该工件的切断之前停止该线锯装置,进行该线锯装置的维护直到落入该管制值界限内为止,之后,切断该工件。

4.一种工件的切断方法,使用如权利要求1所述的线锯装置而切断工件,其中

于该工件的切断之前,在不使该工件接触于该钢线的状态下,使该钢线至少重复前进后退1次以上而行进的同时,确认以该荷重元所检测出的该钢线的张力的标准偏差为0.45N以下、且以该振动传感器所检测出的振动为1.0mm/sec以下之后,进行该工件的切断。

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