[发明专利]基于贯穿波长的相似性的度量强健性

权利要求书

1.一种用于衬底测量的方法，包括：

通过使用衬底测量方案，从衬底上的目标获得测量结果；

由硬件计算机系统根据所述测量结果确定参数，其中对于根据所述衬底测量方案所使用的入射辐射，所述参数表征所述测量结果对于所述目标的光程长度的依赖性，以及确定所述参数包括确定所述测量结果对于所述入射辐射的波长的相对变化的依赖性；以及

如果所述参数并未在指定的范围内，则调节所述衬底测量方案。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述测量结果包括重叠误差、对准、焦点或临界尺寸。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述测量结果包括来自所述目标的两个衍射阶的归一化强度非对称性。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述参数是所述测量结果相对于所述光程长度的相对变化的导数。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，确定所述参数包括使用至少两个不同波长获得测量结果。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述参数是在使用具有不同波长的入射辐射的两个衬底测量方案所获得的两组测量结果之间的差。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，调节所述衬底测量方案包括调节与所述衬底测量方案相关的测量目标结构的参数。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述目标的参数包括所述测量目标结构的至少一部分的形状或定向。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，调节所述衬底测量方案包括调节使用所述衬底测量方案的测量的参数。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述测量的所述参数包括所述入射辐射的偏振或波长。

11.一种用于衬底测量的方法，包括：

通过使用多个衬底测量方案中的每个衬底测量方案，从衬底上的目标获得测量结果；

由硬件计算机系统根据所述测量结果中的每个测量结果确定参数，其中对于根据用于获得所述测量结果的所述衬底测量方案所使用的入射辐射，所述参数表征所述测量结果对于所述目标的光程长度的依赖性；以及

基于所述参数，从所述多个衬底测量方案选择至少一个衬底测量方案。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，确定所述参数包括确定所述测量结果对于所述入射辐射的波长的相对变化的依赖性。

13.根据权利要求11所述的方法，其中，所述测量结果包括重叠误差、焦点、对准或临界尺寸。

14.一种非瞬态计算机可读介质，具有记录在其上的指令，所述指令当由计算机执行时实施根据权利要求1所述的方法。

15.一种非瞬态计算机可读介质，具有记录在其上的指令，所述指令当由计算机执行时实施根据权利要求11所述的方法。