[发明专利]从晶片移除光刻胶的液体过滤

权利要求书

1.一种用于从晶片移除光刻胶的方法，包含以下步骤：

将具有光刻胶膜的晶片移动至处理罐中的处理液体的浴中，其中以所述处理液体从所述晶片移除所述光刻胶膜，并且一些被移除的所述光刻胶膜包含固体；

将处理液体从所述处理罐泵送至具有过滤介质的过滤组件；

将所述处理液体移动通过所述过滤介质，以所述过滤介质从所述处理液体过滤出所述固体；

将经过滤的所述处理液体返回至所述处理罐；

刮削所述过滤介质，以将被过滤出的所述固体移动至在所述过滤组件中的收集器；

从所述收集器移除被过滤出的所述固体；和

从所述处理罐移除所述晶片。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包含以下步骤：将被过滤出的所述固体从收集器移动通过清除阀并且进入回收单元中，并且在所述回收单元中从所述固体分离处理液体。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述处理液体包含被加热至80℃至120℃的溶剂。

4.如权利要求1所述的方法，包含以下步骤：使用半封闭叶轮泵泵送所述处理液体。

5.如权利要求1所述的方法，包含以下步骤：通过将刮削头线性移动通过过滤腔室而刮削所述过滤介质，所述过滤腔室由所述过滤介质形成。

6.如权利要求1所述的方法，包含以下步骤：通过在过滤腔室内旋转转子来刮削所述过滤介质，所述过滤腔室由所述过滤介质形成，其中所述转子具有与所述过滤介质接触的叶片。

7.如权利要求1所述的方法，包含以下步骤：经由泵移动所述处理液体通过所述过滤介质，所述泵在所述过滤组件内的所述处理液体上施以正的流体压力。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述过滤介质包含具有过滤腔室的圆柱，所述方法包含以下步骤：将所述处理液体从所述处理罐泵送至所述过滤腔室的上端中；径向向外移动所述处理液体通过所述过滤介质至环绕所述过滤介质的环状返回腔室中；并且经由邻接于所述返回腔室的下端的出口，将经过滤的所述处理液体返回至所述处理罐。

9.一种用于从晶片移除光刻胶的系统，包含：

处理罐，所述处理罐用于保持处理液体，所述处理液体与所述光刻胶化学反应以从所述晶片移除所述光刻胶；

过滤组件，所述过滤组件经由供应管线和返回管线连接至所述处理罐；

至少一个泵，所述至少一个泵用于从所述处理罐泵送处理液体至所述过滤组件并且回到所述处理罐；

在所述过滤组件中的过滤介质，所述过滤介质适于从所述处理液体过滤出固体；和

刮削器，所述刮削器是沿着所述过滤介质可移动的，以从所述过滤介质移除被过滤出的固体。

10.如权利要求9所述的系统，包含位于所述过滤组件的下端处的清除阀，所述清除阀用于将积聚的固体清除出所述过滤组件。

11.如权利要求10所述的系统，其中所述过滤介质包含竖直定向的圆柱，所述竖直定向的圆柱具有过滤腔室，所述供应管线连接至在所述过滤腔室的上端处的入口，环状返回腔室环绕所述过滤介质，并且所述返回管线连接至出口，所述出口邻接于所述返回腔室的下端。

12.如权利要求11所述的系统，其中所述至少一个泵包含半封闭叶轮泵。

13.如权利要求10所述的系统，其中所述刮削器包括刮削头和致动器，所述刮削头在轴杆上，并且所述致动器用于沿着所述过滤介质线性移动所述刮削头。

14.如权利要求10所述的系统，其中所述刮削器包括转子和电动机，所述转子在由所述过滤介质形成的过滤腔室内，其中所述转子具有与所述过滤介质接触的叶片，并且所述电动机用于旋转所述转子。

15.一种用于从晶片移除光刻胶的系统，包含：

处理罐，所述处理罐用于保持处理液体，所述处理液体与所述光刻胶化学反应以从所述晶片移除所述光刻胶；

过滤组件，所述过滤组件经由供应管线和返回管线连接至所述处理罐；

至少一个泵，所述至少一个泵用于从所述处理罐泵送处理液体至所述过滤组件并且回到所述处理罐；

在所述过滤组件中的过滤介质，所述过滤介质适于从所述处理液体过滤出固体，其中所述过滤介质包含竖直定向的圆柱，所述竖直定向的圆柱具有圆柱形过滤腔室，所述供应管线连接至在所述过滤腔室的上端处的入口，环状返回腔室环绕所述过滤介质，并且所述返回管线连接至出口，所述出口邻接于所述返回腔室的下端；

刮削器，所述刮削器是沿着所述过滤介质可移动的，以从所述过滤介质移除被过滤出的固体；

清除阀，所述清除阀位于所述过滤组件的下端处，用于将积聚的固体清除出所述过滤组件。