[发明专利]具有集成静电放电抑制的流体回路

权利要求书

1.一种界定供流体从流体供应器朝向过程阶段的流径的流体回路，所述流体回路包括：

多个操作组件，每一操作组件包括具有贯穿其间的流体流动通道的主体部分及多个导管连接器配件，所述操作组件由在其相应导管连接器配件处连接到所述操作组件的多个导管段连接，所述多个导管段及操作组件提供通过所述流体回路的所述流径；

其中每一主体部分包括非导电氟聚合物部分，所述非导电氟聚合物部分界定所述流体流动通道且延伸到相应所述多个导管连接器配件中的每一者的末端，每一主体部分进一步包括外导体，所述外导体延伸于所述多个导管连接器配件中的每一者之间且与所述非导电氟聚合物部分成一体，所述多个导管段各自包括非导电氟聚合物导管部分及在所述非导电氟聚合物导管部分上轴向延伸且与其成一体的导电聚合物带；

其中所述连接器中的每一者具有桥接组件，所述桥接组件用于将所述主体部分的相应所述外导体导电地连接到所述非导电氟聚合物导管部分的所述导电聚合物带，所述非导电氟聚合物导管部分连接到所述连接器。

2.根据权利要求1所述的流体回路，其中所述多个导管连接器配件中的每一者包括螺纹接头部分及可附接到所述螺纹接头部分的导电螺母，且其中所述桥接组件是所述导电螺母。

3.根据权利要求1所述的流体回路，其中所述多个操作组件包含阀、过滤器、T连接器、肘形连接器、泵及传感器中的任一者。

4.根据权利要求1所述的流体回路，其中所述操作组件的所述主体部分中的至少一者包括附接特征件，所述附接特征件导电地连接到相应的所述主体部分的所述外导体。

5.一种界定供流体从流体供应器朝向过程阶段的流径的流体回路，所述流体回路包括：

多个操作组件，所述多个操作组件中的每一者包括具有贯穿其间的流体流动通道的主体部分及多个导管连接器配件，所述操作组件由在其相应导管连接器配件处连接到所述操作组件的多个导管段互连，所述多个导管段及操作组件提供通过所述流体回路的所述流径；

其中每一组件主体部分包括非导电氟聚合物部分，所述非导电氟聚合物部分界定所述流体流动通道，每一组件主体部分进一步包括与所述非导电氟聚合物部分成一体且从所述流体流动通道向外移位的导电部分，所述导电部分具有向外暴露到所述导电部分的连接器，所述多个操作组件中的每一者导电地连接在一起。

6.根据权利要求5所述的流体回路，其中每一导管段具有包括氟聚合物的导电部分且所述多个操作组件中的每一者通过所述导管段导电地连接在一起。

7.根据权利要求5所述的流体回路，其中所述多个操作组件中的每一者通过连接到相应所述导电部分的导电条导电地连接。

8.一种操作流体回路组件，其包括：

主体部分，其包括非导电氟聚合物部分，所述非导电氟聚合物部分界定延伸于入口部分与出口部分之间的流体流径，所述主体部分进一步包括与所述非导电氟聚合物部分成一体的非内部氟聚合物导体，所述非内部氟聚合物导体延伸于所述入口部分与所述出口部分之间，至少所述入口部分经配置用于接纳具有导电部分的导管末端且将所述非内部氟聚合物导体导电地连接到所述导管末端的所述导电部分。

9.根据权利要求8所述的操作流体回路组件，其中所述非内部氟聚合物导体经配置为具有在0.1厘米到1厘米宽的范围中的宽度的带。

10.根据权利要求8所述的操作流体回路组件，其中所述出口部分包括喷嘴。

11.根据权利要求8所述的操作流体回路组件，其中所述入口部分包括公接头部分及螺母，所述公接头部分具有用于啮合所述螺母的螺纹部分，借此所述螺母将所述主体部分的所述非内部氟聚合物导体与所述入口部分中的导管末端的所述导电部分导电地啮合，借此导电地连接所述氟聚合物导体与所述导管末端的导电部分。