[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

压电体；以及

IDT电极，直接地或间接地设置在所述压电体上，

所述IDT电极具有第一金属层、设置在所述第一金属层上的第二金属层、以及设置在所述第二金属层上的第三金属层，

所述第一金属层具有连结所述压电体侧的面和所述第二金属层侧的面的侧面部，

所述第一金属层中的所述侧面部包含作为所述第二金属层侧的端部的第一端部，

所述第二金属层具有连结所述第一金属层侧的面和所述第三金属层侧的面的侧面部，

所述第三金属层具有连结所述第二金属层侧的面和与所述第二金属层侧相反侧的面的侧面部，

所述第三金属层中的所述侧面部包含作为所述第二金属层侧的端部的第二端部，

所述第二端部与所述第二金属层的所述侧面部相接，

在所述IDT电极的至少一部分中，从所述第一端部经过所述第二金属层的所述侧面部到达所述第二端部的沿面距离比连结所述第一端部和所述第二端部的距离长。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

跨过所述第三金属层的俯视下的外周的整个区域，从所述第一端部经过所述第二金属层的所述侧面部到达所述第二端部的沿面距离比连结所述第一端部和所述第二端部的距离长。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述第二金属层的所述侧面部在俯视下位于比所述第二端部靠外侧，所述第二金属层的所述第一金属层侧的面包含不与所述第一金属层接触的非接触部。

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

所述非接触部延伸的方向与所述压电体的主面延伸的方向交叉。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

所述非接触部延伸，使得越接近所述第二金属层的所述侧面部，越远离所述压电体。

6.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述第二金属层具有设置在所述第一金属层上的第一阻挡层和设置在所述第一阻挡层上的第二阻挡层。

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

所述第二阻挡层具有连结所述第一阻挡层侧的面和所述第三金属层侧的面的侧面部，

所述第二阻挡层中的所述侧面部的所述第一阻挡层侧的端部的至少一部分位于比所述第二阻挡层与所述第一阻挡层接触的部分靠所述第三金属层侧。

8.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

在所述第一阻挡层与所述第二阻挡层之间设置有金属氧化物层。

9.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述IDT电极具有：第一汇流条以及第二汇流条，相互对置；多根第一电极指，一端与所述第一汇流条连接；以及多根第二电极指，与所述多根第一电极指相互交替插入，且一端与所述第二汇流条连接，

在所述IDT电极中，将在从弹性波传播方向观察时所述第一电极指与所述第二电极指相互重叠的区域设为交叉区域，

所述交叉区域具有：中央区域，弹性波的声速相对高；以及低声速部，使声速比所述中央区域低，设置在所述中央区域的电极指延伸的方向上的两端部，

在所述低声速部设置有所述第三金属层。

10.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

在所述压电体的一个主面上，设置有覆盖所述IDT电极的电介质膜。