[发明专利]弹性波装置

说明书

本发明提供一种能够抑制IDT电极中的迁移的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电基板(2)(压电体)和直接地或间接地设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具有第一金属层(4A～4D)、设置在第一金属层(4D)上的第二金属层(5)、以及设置在第二金属层(5)上的第三金属层(6)。第一金属层(4D)、第二金属层(5)、第三金属层(6)具有侧面部(4Da、5a、6a)。侧面部(4Da)包含作为第二金属层(5)侧的端部的第一端部(4Db)。侧面部(6a)包含作为第二金属层(5)侧的端部的第二端部(6c)。在IDT电极(3)的至少一部分中，从第一端部(4Db)经过第二金属层(5)的侧面部(5a)到达第二端部(6c)的沿面距离比连结第一端部(4Db)和第二端部(6c)的距离长。

技术领域

本发明涉及弹性波装置。

背景技术

以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。例如，在下述的专利文献1公开了具有由层叠金属膜构成的IDT电极的弹性波装置。IDT电极是从压电基板侧起依次设置有NiCr层、Pt层、Ti层以及AlCu层的层叠金属膜。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5131117号公报

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1中，在IDT电极中的Pt层与AlCu层之间设置有成为阻挡层的Ti层。然而，AlCu层中的Al原子有时通过表面扩散而在Ti层的侧面移动并到达Pt层。通过这样的迁移，在Pt层中，有时形成Al和Pt的合金。因此，存在弹性波装置的特性劣化的倾向。

本发明的目的在于，提供一种能够抑制IDT电极中的迁移的弹性波装置。

用于解决课题的技术方案

在本发明涉及的弹性波装置的某个广泛的方面中，具备压电体和直接地或间接地设置在所述压电体上的IDT电极，所述IDT电极具有第一金属层、设置在所述第一金属层上的第二金属层、以及设置在所述第二金属层上的第三金属层，所述第一金属层具有连结所述压电体侧的面和所述第二金属层侧的面的侧面部，所述第一金属层中的所述侧面部包含作为所述第二金属层侧的端部的第一端部，所述第二金属层具有连结所述第一金属层侧的面和所述第三金属层侧的面的侧面部，所述第三金属层具有连结所述第二金属层侧的面和与所述第二金属层侧相反侧的面的侧面部，所述第三金属层中的所述侧面部包含作为所述第二金属层侧的端部的第二端部，在所述IDT电极的至少一部分中，从所述第一端部经过第二金属层的所述侧面部到达所述第二端部的沿面距离比连结所述第一端部和所述第二端部的距离长。

在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的方面中，跨过所述第三金属层的俯视下的外周的整个区域，从所述第一端部经过所述第二金属层的所述侧面部到达所述第二端部的沿面距离比连结所述第一端部和所述第二端部的距离长。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，所述第二金属层的所述侧面部在俯视下位于比所述第二端部靠外侧，所述第二金属层的所述第一金属层侧的面包含不与所述第一金属层接触的非接触部。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述非接触部延伸的方向与所述压电体的主面延伸的方向交叉。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，所述非接触部延伸，使得越接近所述第二金属层的所述侧面部，越远离所述压电体。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述第二金属层具有设置在所述第一金属层上的第一阻挡层和设置在所述第一阻挡层上的第二阻挡层。