[发明专利]电极结构、包括其的电子器件及其制造方法有效
申请号: | 201780034882.5 | 申请日: | 2017-02-23 |
公开(公告)号: | CN109416958B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 孙镛久;章盛皓;成知玹;李基硕;李承宪 | 申请(专利权)人: | 株式会社LG化学 |
主分类号: | H01B7/00 | 分类号: | H01B7/00;H01B13/00;H01B1/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 顾晋伟;梁笑 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电极 结构 包括 电子器件 及其 制造 方法 | ||
本说明书涉及电极结构、包括所述电极结构的电子器件和制造所述电极结构的方法。
技术领域
本申请要求于2016年6月17日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10-2016-0075924号的优先权和权益,其全部内容通过引用并入本文。
本说明书涉及电极结构、包括电极结构的电子器件和制造电极结构的方法。
背景技术
近来,在诸如显示器或接触面板的电子器件中,对其中将透明电极应用于有效屏幕部分的领域的产品需求增加,并且为此,使用诸如ITO、IZO和ZnO的金属氧化物系列的透明导电层,但是基于金属氧化物的透明导电层具有材料自身的低的内源导电性,并因此在使电子器件扩大方面具有致命的问题。具体地,在开发近来成为焦点的OLED照明器件时,由于基于氧化物的透明电极的高电阻特性,存在这样的问题:当器件的尺寸增加时,由载流子拥挤现象导致电流量不均匀。该问题导致亮度均匀性的急剧降低并且导致在器件的操作期间局部产生高热,从而由于有机材料的热降解而使器件的寿命缩短。
为了解决所述问题,开发关于辅助电极图案的技术,所述辅助电极图案是与基于氧化物的透明电极一起具有低电阻的金属电极。
发明内容
技术问题
本说明书提供了电极结构、包括电极结构的电子器件和制造电极结构的方法。
技术方案
本说明书提供了电极结构,其包括:透明电极;设置在透明电极上的光阻挡图案;设置在光阻挡图案上的辅助电极图案;以及覆盖光阻挡图案和辅助电极图案的有机绝缘图案,其中光阻挡图案的线宽大于辅助电极图案的线宽。
此外,本说明书提供了包括电极结构的电子器件。
此外,本说明书提供了制造电极结构的方法,所述方法包括形成电极结构,其中在透明电极上顺序地设置光阻挡图案、辅助电极图案和有机绝缘图案。
有益效果
根据本发明,可以容易地实现具有围绕金属辅助电极图案的形式的有机绝缘图案。
附图说明
图1是说明在现有技术中的形成辅助电极图案和绝缘图案的过程的流程图。
图2是说明根据本说明书的一个示例性实施方案的形成光阻挡图案、辅助电极图案和绝缘图案的过程的流程图。
图3是实施例1中形成的光阻挡图案和辅助电极图案的扫描电子显微镜(SEM)图像。
图4是比较例1中的形成在辅助电极图案上的有机绝缘图案前体的SEM图像。
图5是实施例1中的形成在光阻挡图案和辅助电极图案上的有机绝缘图案前体的SEM图像。
图6是在比较例1中回流5分钟或20分钟的有机绝缘图案前体的SEM图像。
图7是在实施例1中回流5分钟或20分钟的有机绝缘图案前体的SEM图像。
附图标记说明
1:透明电极
2:辅助电极层
3:蚀刻保护图案
4:辅助电极图案
5:有机绝缘前体层
6:有机绝缘图案的前体
7:有机绝缘图案
100:透明电极
200:光阻挡层 210:光阻挡图案
300:辅助电极层 310:辅助电极图案
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