[发明专利]原子层生长装置及原子层生长方法

权利要求书

1.一种原子层生长装置，其特征在于，具有：

成膜容器，其对基板进行成膜处理；

载物台，其能够上下移动且设置在所述成膜容器内，并保持所述基板；

载物台停止器，其使所述载物台的上升停止，并通过与所述载物台的接触而划分出进行所述成膜处理的成膜空间和进行所述基板的搬送的搬送空间；

第一载物台防附着材料，其覆盖所述载物台的周边部；

载物台停止器防附着材料，其设置在所述载物台停止器上；

所述载物台停止器防附着材料覆盖所述载物台停止器的位于基板侧的侧面，且所述载物台停止器防附着材料具有向所述第一载物台防附着材料延伸的部分。

2.根据权利要求1所述的原子层生长装置，其特征在于，所述载物台停止器防附着材料具有：

第一载物台停止器防附着材料，其覆盖位于所述载物台停止器的上方的所述成膜容器的侧壁的内面；

第二载物台停止器防附着材料，其覆盖所述载物台停止器的上表面；

第三载物台停止器防附着材料，其覆盖所述载物台停止器的位于基板侧的侧面。

3.根据权利要求2所述的原子层生长装置，其特征在于，所述第一、第二及第三载物台停止器防附着材料一体形成。

4.根据权利要求2所述的原子层生长装置，其特征在于，设置有第二载物台防附着材料，该第二载物台防附着材料位于所述载物台与所述第三载物台停止器防附着材料之间，并且覆盖所述载物台的侧部。

5.根据权利要求1所述的原子层生长装置，其特征在于，所述载物台停止器防附着材料具有第一载物台停止器防附着材料，该第一载物台停止器防附着材料沿着以俯视视角来看成为四边形的所述成膜容器的四个内壁配置，所述第一载物台停止器防附着材料包括有沿着各个的所述内壁配置的四个板状构件，所述四个板状构件是相邻的所述板状构件之间分别接触。

6.根据权利要求5所述的原子层生长装置，其特征在于，构成所述第一载物台停止器防附着材料的所述四个板状构件分别是在相邻的所述板状构件之间不具有空间。

7.根据权利要求5所述的原子层生长装置，其特征在于，在所述成膜空间的所述内壁与所述载物台停止器防附着材料之间具有能够供给非活性气体的间隙。

8.根据权利要求2所述的原子层生长装置，其特征在于，所述载物台停止器具有：

第一非活性气体供给口，其供给非活性气体至第一非活性气体供给路径，且所述第一非活性气体供给路径是由所述第一载物台停止器防附着材料与所述成膜容器之间的间隙所形成的；

第二非活性气体供给口，其供给所述非活性气体至第二非活性气体供给路径，且所述第二非活性气体供给路径是由所述第三载物台停止器防附着材料与所述载物台停止器之间的间隙、以及所述第三载物台停止器防附着材料与所述第一载物台防附着材料之间的间隙所形成的；

在所述载物台停止器及所述成膜容器具有将所述非活性气体供给至所述第一非活性气体供给口及所述第二非活性气体供给口的非活性气体供给路径，

在所述成膜容器具有将所述非活性气体供给至所述非活性气体供给路径的非活性气体供给部。

9.根据权利要求2所述的原子层生长装置，其特征在于，所述载物台停止器具有第三非活性气体供给口，该第三非活性气体供给口将非活性气体供给至第三非活性气体供给路径，该第三非活性气体供给路径是由所述第二载物台停止器防附着材料与所述载物台停止器的上表面之间的间隙所形成的。

10.根据权利要求8所述的原子层生长装置，其特征在于，所述第一非活性气体供给口在所述载物台停止器的上表面的周围，沿着整周形成有多个，或者在整周上连续形成。

11.根据权利要求8所述的原子层生长装置，其特征在于，所述第二非活性气体供给口沿着所述载物台停止器的位于基板侧的侧面的整周形成有多个，或者在整周上连续形成。