[发明专利]用于制造激光二极管棒的方法和激光二极管棒有效
申请号: | 201780037676.X | 申请日: | 2017-06-13 |
公开(公告)号: | CN109314367B | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 克莱门斯·菲尔海利希;安德烈亚斯·莱夫勒;斯文·格哈德 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01S5/00 | 分类号: | H01S5/00;H01S5/042;H01S5/40;H01S5/022;H01S5/024;H01S5/02345;H01S5/323 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 丁永凡;张春水 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 激光二极管 方法 | ||
1.一种用于制造激光二极管棒(10)的方法,所述方法具有如下步骤:
-制造多个并排设置的发射器(1,2),其中所述发射器(1,2)分别具有带有适合于产生激光辐射的有源层(14)的半导体层序列(11)、在所述激光二极管棒(10)的第一主面(17)上的p接触部(16)和在所述激光二极管棒(10)的与所述第一主面(17)相对置的第二主面(18)上的n接触部(12),其中所述发射器(1,2)的p接触部(16)分别与p联接层(5)连接,并且在所述第二主面(18)上具有露出的p联接面(6),其中所述p联接层
(i)从所述第一主面(17)穿过在所述半导体层序列(11)中的穿通部(7)引导至所述第二主面(18),或者
(ii)从所述第一主面(17)经由所述激光二极管棒(10)的侧棱面(19)引导至所述第二主面(18),
-检查所述发射器(1,2)的至少一个光学和/或电学特性,其中将所述光学和/或电学特性处于预设的期望值域之内的发射器(1)归属于第一发射器(1)的组,并且将所述至少一个光学和/或电学特性处于所述预设的期望值域之外的发射器(2)归属于第二发射器(2)的组,以及
-电接触所述第一发射器(1),其中不电接触所述第二发射器(2),使得在所述激光二极管棒(10)运行时不对所述第二发射器供给电流,其中所述第二发射器(2)包括有故障的发射器,所述有故障的发射器具有缺陷或仅不足地贡献于发射辐射。
2.根据权利要求1所述的方法,
其中所述n接触部(12)与n联接层(3)连接,所述n联接层设置在所述第二主面(18)上并且构成n联接面(4),并且其中所述n联接面构成为用于所述激光二极管棒(10)的所有发射器(1,2)的共同的联接面。
3.根据权利要求1所述的方法,
其中所述激光二极管棒(10)在所述第一主面(17)上借助于连接层(24)安装到载体(21)上,
以及所述p接触部(16)借助于p联接层(5)与所述连接层(24)导电地连接,并且其中所述连接层(24)在所述载体(21)上具有p联接面(6)。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,
其中电接触所述第一发射器(1)包括:对所述第一发射器(1)的p联接面(6)分别设有馈电线。
5.根据权利要求4所述的方法,
其中不对所述第二发射器(2)的p联接面(6)设有馈电线。
6.根据权利要求1所述的方法,
其中所述半导体层序列(11)具有氮化物化合物半导体材料。
7.一种激光二极管棒,所述激光二极管棒包括多个并排设置的发射器(1,2),其中所述发射器(1,2)分别具有带有适合于产生激光辐射的有源层(14)的半导体层序列(11)、在所述激光二极管棒(10)的第一主面(17)上的p接触部(16)和在所述激光二极管棒(10)的与所述第一主面(17)相对置的第二主面(18)上的n接触部(12),其中所述发射器(1,2)的p接触部(16)分别与p联接层(5)连接,并且在所述第二主面(18)上具有露出的p联接面(6),其中所述p联接层
(i)从所述第一主面(17)穿过在所述半导体层序列(11)中的穿通部(7)引导至所述第二主面(18),或者
(ii)从所述第一主面(17)经由所述激光二极管棒(10)的侧棱面(19)引导至所述第二主面(18),
其中所述激光二极管棒(10)包括第一发射器(1)的组,所述第一发射器被电接触,和包括第二发射器(2)的组,所述第二发射器未被电接触,其中所述第二发射器(2)包括有故障的发射器,所述有故障的发射器具有缺陷或仅不足地贡献于发射辐射。
8.根据权利要求7所述的激光二极管棒,
其中所述n接触部(12)与n联接层(3)连接,所述n联接层设置在所述第二主面(18)上并且具有n联接面(4)。
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