[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，该组合物是在(A)抗蚀剂剥离液100质量份中配合0.01～10质量份(B)分子中具有氧化烯基的表面活性剂而成的，

所述(B)表面活性剂由下述的氧化烯表面活性剂制成：在水晶振子微天平法中，水晶振子测定基板上的氧化铟锡(ITO)膜面上附着的所述表面活性剂在流水下于1000秒以内单调地减少并消失，

其中，所述(B)表面活性剂的附着量为1nmol/cm²～20nmol/cm²，所述ITO膜面的所述流水的流速为0.1mL/分钟，所述水晶振子的振荡频率为4.95MHz。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述氧化烯表面活性剂是非离子系的表面活性剂。

3.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述氧化烯表面活性剂是具有氧化乙烯基的碳数为10～500的表面活性剂。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述氧化烯表面活性剂是具有氧化乙烯基和氧化丙烯基的碳数为10～500的表面活性剂。

5.根据权利要求3或4所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述氧化烯表面活性剂所具有的氧化乙烯基和氧化丙烯基的数量以氧化丙烯基/氧化乙烯基表示的个数之比计为0～6。

6.根据权利要求4或5所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述氧化烯表面活性剂所具有的氧化乙烯基和氧化丙烯基的摩尔比即氧化乙烯基：氧化丙烯基为0.2：1～3：1。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述氧化烯表面活性剂由选自下述通式(1)所表示的化合物和下述通式(2-1)所表示的化合物之中的一种以上制成，

通式(1)：HO-(EO)_x-(PO)_y-(EO)_z-H

其中，所述通式(1)中，EO为氧化乙烯基，PO为氧化丙烯基，x+z为1～150的数，y为1～50的数，

通式(2-1)：R¹-O-(EO)_p(PO)_q-H

其中，所述通式(2-1)中，R¹为直链状、支链状或环状的碳数为6～22的烷基，EO为氧化乙烯基，PO为氧化丙烯基，p为1～149的数，q为0～10的数。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述氧化烯表面活性剂由下述通式(2-2)所表示的化合物制成，

通式(2-2)：R¹-O-(EO)_p(PO)_q-H

其中，所述通式(2-2)中，R¹为直链状、支链状或环状的碳数为6～18的烷基，EO为氧化乙烯基，PO为氧化丙烯基，p为1～10的数，q为1～10的数。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述氧化烯表面活性剂的含有比例是相对于所述(A)抗蚀剂剥离液的100质量％为0.1～3质量％。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述(A)抗蚀剂剥离液由(A1)碳酸亚乙酯和(A2)选自碳酸亚丙酯、γ-丁内酯、环戊酮和碳酸甘油酯之中的一种以上制成。

11.根据权利要求10所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于所述(A)抗蚀剂剥离液的总量，所述(A)抗蚀剂剥离液含有20质量％～80质量％的所述(A1)碳酸亚乙酯。