[发明专利]在机器人中提供未对准校正的方法和系统

权利要求书

1.一种校正双叶式机器人中的未对准的方法，所述方法包括以下步骤：

提供所述双叶式机器人，所述双叶式机器人包括第一可移动臂和附接至所述第一可移动臂中的一者的第一终端受动器、和第二可移动臂和附接至所述第二可移动臂中的一者的第二终端受动器，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器是可单独延伸移动的；

在所述第一可移动臂中的一者上或所述第一终端受动器上提供第一标志；

在所述第二可移动臂中的一者上或所述第二终端受动器上提供第二标志；

在所述第一标志的第一期望路径中的第一位置处提供第一束传感器；

在所述第二标志的第二期望路径中的第二位置处提供第二束传感器；

使所述双叶式机器人延伸成第一机器人配置，其中所述第一终端受动器延伸并且其中所述第二终端受动器收缩，并且记录所述第一束传感器被所述第一标志阻档和不被所述第一标志阻挡的对应的所测量的空间位置；

使所述双叶式机器人延伸成第二机器人配置，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器均延伸，并且记录所述第一束传感器被所述第一标志阻挡和不被所述第一标志阻挡的对应的所测量的空间位置和所述第二束传感器被所述第二标志阻挡和不被所述第二标志阻挡的对应的所测量的空间位置；和

针对所述第一机器人配置和所述第二机器人配置中的至少一个机器人配置确定位置校正。

2.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：

使所述双叶式机器人延伸成第三机器人配置，其中所述第二终端受动器延伸而所述第一终端受动器收缩，和

记录所述第二束传感器被所述第二标志阻挡和不被所述第二标志阻挡的对应的所测量的空间位置。

3.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：在所述第一可移动臂中的所述一个第一可移动臂的第一腕构件上提供所述第一标志。

4.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：在所述第二可移动臂中的所述一个第二可移动臂的第二腕构件上提供所述第二标志。

5.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：

提供所述第一标志作为第一标志部件，所述第一标志部件耦合至所述第一可移动臂中的所述一个第一可移动臂的第一腕构件的表面。

6.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：

提供所述第二标志作为第二标志部件，所述第二标志部件耦合至所述第二可移动臂中的所述一个第二可移动臂的第二腕构件的表面。

7.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：

在所述第一可移动臂中的所述一个第一可移动臂的第一腕构件上的位置处提供所述第一标志，所述位置在所述第一终端受动器完全延伸进入腔室时定位在所述第一束传感器前方。

8.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：

在所述第二可移动臂中的所述一个第二可移动臂的第二腕构件上的位置处提供所述第二标志，所述位置在所述第二终端受动器完全延伸进入腔室时定位在所述第二束传感器前方。

9.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：

在紧临所述第一终端受动器和所述第二终端受动器上的基板的位置的位置处提供所述第一标志和所述第二标志。

10.如权利要求1所述的方法，包括以下步骤：针对所述第一机器人配置和所述第二机器人配置两者确定所述位置校正。

11.一种双叶式机器人校准系统，包括：

双叶式机器人，包括第一可移动臂和附接至所述第一可移动臂中的一者的第一终端受动器、和第二可移动臂和附接至所述第二可移动臂中的一者的第二终端受动器，其中所述第一终端受动器和第二终端受动器是可独立移动的；

第一标志，设置在所述第一可移动臂中的一者上或所述第一终端受动器上；

第二标志，设置在所述第二可移动臂中的一者上或所述第二终端受动器上；

第一束传感器，设在第一工艺位置附近；

第二束传感器，设在第二工艺位置附近；和

控制器，耦合至所述双叶式机器人并且操作上被配置为：

将所述双叶式机器人移动为第一机器人配置，其中所述第一终端受动器延伸而所述第二终端受动器收缩，并且记录所述第一束传感器被所述第一标志阻挡和不被所述第一标志阻挡的对应的所测量的位置，

将所述双叶式机器人移动为第二机器人配置，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器均延伸，并且记录所述第一束传感器被所述第一标志阻挡和不被所述第一标志阻挡的对应的所测量的位置和所述第二束传感器被所述第二标志阻挡和不被所述第二标志阻挡的对应的所测量的位置，和

针对所述第一机器人配置和所述第二机器人配置中的至少一个机器人配置确定位置校正。