[发明专利]在机器人中提供未对准校正的方法和系统

说明书

描述了校正机器人(例如双叶式机器人)中的叶片的位置未对准的方法。在一个或多个实施方式中，所述方法包括：机器人，包括：可移动臂和附接至所述可移动臂中的一者的终端受动器；标志，设置在所述可移动臂中的一者上或所述终端受动器上；腔室，适于受所述终端受动器服务；束传感器，定位在自所述腔室的某个距离处；和校正所述终端受动器的未对准，其中所述未对准发生在初始线性中心找寻位置和所述腔室的估算的中心之间。还公开了进行此类电子设备校准的系统。提供了许多其他的方面。

相关申请

本申请主张来自于2016年6月29日所递交的名称为“METHODS AND SYSTEMSPROVIDING MISALIGNMENT CORRECTION IN ROBOTS”的第15/197,039号美国非临时专利申请(代理人案号第24054/USA号)的优先权，特此将该美国非临时专利申请的整体实质内容以引用方式并入本文中。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及适于校正机器人中的终端受动器的未对准的方法和装置。

背景技术

电子设备制造系统可包括多个工艺腔室和装载闸腔室。此类腔室可被包括在群集工具中，其中多个工艺腔室可例如分布在传输腔室周围。这些工具可采用多关节机器人(articulated robot)或多臂机器人，这些机器人可被收容在传输腔室内并且在各种工艺腔室和装载闸腔室之间输送基板。例如，机器人可从腔室到腔室、从装载闸腔室到工艺腔室和/或从工艺腔室到装载闸腔室输送基板。高效并且精确地在各种系统腔室之间输送基板可改善系统产量，因此降低整体的运行成本。

并且，精确的基板放置可改善整体处理质量。在许多双叶式机器人(dual-bladedrobot)中，采用水平多关节机械臂(SCARA)机器人。各SCARA机器人采用由一个电动机驱动的三个臂(上臂、前臂和腕)。终端受动器可耦合至腕，并且可用于向或自捡取目的地或放置目的地(例如工艺腔室或装载闸腔室)运送基板。在双叶式SCARA机器人中(其中SCARA机器人耦合至吊杆(boom)的相对端)，有问题地，此类SCARA机器人可能遭受某些未对准问题。此外，在不是双叶式的SCARA机器人中，某些未对准问题也可能发生。

据此，本公开内容针对用于高效并且精确地定向终端受动器的改善的方法、系统和装置。

发明内容

在一个实施方式中，提供一种校正双叶式机器人中的未对准的方法。所述方法包括以下步骤：提供双叶式机器人，所述双叶式机器人包括第一可移动臂和附接至所述第一可移动臂中的一者的第一终端受动器、和第二可移动臂和附接至所述第二可移动臂中的一者的第二终端受动器，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器是可独立延伸移动的；在所述第一可移动臂中的一者上或所述第一终端受动器上提供第一标志；在所述第二可移动臂中的一者上或所述第二终端受动器上提供第二标志；在所述第一标志的期望路径中的位置处提供第一束传感器；在所述第二标志的期望路径中的位置处提供第二束传感器；将所述机器人延伸成第一机器人配置，其中所述第一终端受动器延伸并且其中所述第二终端受动器收缩，并且记录所测量的所述第一束传感器被所述第一标志阻挡和不被所述第一标志阻挡的空间位置；将所述机器人延伸成第二机器人配置，其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器均延伸，并且记录所测量的所述第一束传感器被所述第一标志阻挡和不被所述第一标志阻挡的空间位置和所述第二束传感器被所述第二标志阻挡和不被所述第二标志阻挡的空间位置；和确定针对所述第一机器人配置和所述第二机器人配置中的至少一个机器人配置的位置校正。