[发明专利]涂布方法

权利要求书

1.一种涂布方法，用以将300cP以上的高黏度药液供给至圆形基板上并在所述圆形基板上形成药液膜；

所述涂布方法具备如下步骤：

使所述圆形基板以第一转速旋转，且一边使位于所述圆形基板的上方的药液喷嘴沿着所述圆形基板的半径方向移动，一边从所述药液喷嘴将药液喷出至所述圆形基板上，由此形成螺旋状的药液膜；

在形成所述螺旋状的药液膜之后，从所述药液喷嘴将药液喷出至所述圆形基板的中心部，由此在所述圆形基板的中心部形成药液的贮液部；以及

在形成所述药液的贮液部之后，以比所述第一转速更快的第二转速使所述圆形基板旋转，由此来扩展所述贮液部的药液以覆盖所述螺旋状的药液膜，使所述螺旋状的药液膜的表面变为平坦。

2.如权利要求1所记载的涂布方法，其中，

在形成所述螺旋状的药液膜时，所述药液喷嘴从所述圆形基板的周缘部朝向所述圆形基板的中心部沿着所述圆形基板的半径方向移动。

3.如权利要求1或2所记载的涂布方法，其中，

该涂布方法还具备如下步骤：在使所述圆形基板以所述第一转速旋转，且已停止所述药液喷嘴的移动的状态下，从位于所述圆形基板的周缘部的上方的所述药液喷嘴将药液喷出至所述圆形基板上，由此沿着所述圆形基板的周缘部形成环状的药液膜。

4.如权利要求1或2所记载的涂布方法，其中，

该涂布方法还具备执行预湿处理的步骤，该预湿处理是指，在从所述药液喷嘴喷出药液之前，使所述圆形基板旋转，且从溶剂喷嘴将溶剂喷出至所述圆形基板上，由此在所述圆形基板上形成溶剂膜的处理。

5.如权利要求4所记载的涂布方法，其中，

通过所述预湿处理而能处于溶剂进入形成于所述圆形基板的凹部内的状态。

6.如权利要求1或2所记载的涂布方法，其中，

所述螺旋状的药液膜中的各圈的药液膜在半径方向未与邻圈的所述药液膜产生间隙。

7.如权利要求1或2所记载的涂布方法，其中，

在形成所述螺旋状的药液膜时，当所述药液喷嘴位于比所述圆形基板的周缘部侧的位置更靠近所述圆形基板的中心部侧的位置时，将所述药液喷嘴的顶端面与所述圆形基板的表面之间的间隙形成为比位于所述周缘部侧的位置的所述间隙更大。

8.如权利要求1或2所记载的涂布方法，其中，

在形成所述螺旋状的药液膜时，当所述药液喷嘴位于比所述圆形基板的周缘部侧的位置更靠近所述圆形基板的中心部侧的位置时，将所述圆形基板的转速形成为比位于所述周缘部侧时的所述转速更快。