[发明专利]法布里-珀罗干涉滤光器在审
| 申请号： | 201780041828.3 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN109477958A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 笠原隆;柴山胜己;广瀬真树;川合敏光;大山泰生;藏本有未 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;尹明花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 积层体 中间层 反射镜部 基板 第一表面 外侧面 缘部 法布里-珀罗干涉 干涉滤光器 法布里 滤光器 平行 覆盖 配置 | ||
1.一种法布里-珀罗干涉滤光器，其中，
包括：
基板，其具有第一表面；
第一层，其具有配置于所述第一表面的第一反射镜部；
第二层，其具有在相对于所述第一反射镜部而在与所述基板相反的一侧隔着空隙而与所述第一反射镜部相对的第二反射镜部；及
中间层，其在所述第一层与所述第二层之间划定所述空隙，
并且，
所述中间层的外侧面以如下方式弯曲：所述中间层的所述基板侧的缘部比所述中间层的与所述基板相反的一侧的缘部在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置，
所述第二层覆盖所述中间层的所述外侧面。
2.如权利要求1所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，
所述中间层的所述外侧面以如下方式向所述空隙侧呈凹状弯曲：所述中间层的所述基板侧的缘部比所述中间层的与所述基板相反的一侧的缘部在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置。
3.如权利要求1或2所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，
所述中间层的外侧面以如下方式弯曲：其在与所述第一表面垂直的方向上越靠近所述基板，则在与所述第一表面平行的方向上越远离所述空隙。
4.如权利要求1至3中的任一项所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，
所述第一层的外侧面比所述中间层的所述外侧面在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置，
所述第二层覆盖所述第一层的所述外侧面。
5.如权利要求4所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，
所述基板具有：在从与所述第一表面垂直的方向观察时位于比所述第一层的外缘更靠向外侧的外缘部，且
所述第二层覆盖所述外缘部。
6.如权利要求4或5所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，
所述第一层的所述外侧面以如下方式弯曲：其在与所述第一表面垂直的方向上越靠近所述基板，则在与所述第一表面平行的方向上越远离所述空隙。
7.如权利要求1至6中的任一项所述的法布里-珀罗干涉滤光器，其中，
进一步具备：配置于所述基板上的与所述第一表面相对的第二表面的第三层。
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