[发明专利]法布里-珀罗干涉滤光器

说明书

本发明的法布里‑珀罗干涉滤光器(1)包括：基板(11)，其具有第一表面(11a)；第一积层体(22)，其具有配置于第一表面(11a)的第一反射镜部(31)；第二积层体(24)，其具有在相对于第一反射镜部(31)而在与基板(11)相反的一侧隔着空隙(S)而与第一反射镜部(31)相对的第二反射镜部(32)；及中间层(23)，其在第一积层体(22)与第二积层体(24)之间划定空隙(S)。中间层(23)的外侧面(23b)以如下方式弯曲：中间层(23)的基板(11)侧的缘部比中间层(23)的与基板(11)相反的一侧的缘部在与第一表面(11a)平行的方向上位于更靠向外侧的位置。第二积层体(24)覆盖中间层(23)的外侧面(23b)。

技术领域

本发明的一个方式涉及一种法布里-珀罗干涉滤光器。

背景技术

专利文献1中记载的法布里-珀罗干涉仪包括：基板；第一反射镜结构，其具有配置于基板上的下侧固定反射镜；第二反射镜结构，其具有隔着空间而与下侧固定反射镜相对的上侧可动反射镜；及牺牲层，其在第一反射镜结构与第二反射镜结构之间划定空间。在该法布里-珀罗干涉仪中，牺牲层的外侧面是露出的。另外，牺牲层的外侧面呈平面状，且与牺牲层中的与第一反射镜结构相反的一侧的表面正交，并且与第二反射镜结构的外侧面成为同一平面。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利文献特表2012-528345号公报

发明内容

[发明所要解决的技术问题]

在如上所述的法布里-珀罗干涉仪中，由于牺牲层的外侧面是露出的，所以，光从牺牲层的外侧面入射。对于这种光而言，即便具有与对应于下侧固定反射镜与上侧可动反射镜之间的距离的波长不同的波长，也会有透过下侧固定反射镜而包含于来自法布里-珀罗干涉仪的输出光中的问题。在此情况下，输出光中的噪声增大，法布里-珀罗干涉仪的特性会劣化。

另外，在如上所述的法布里-珀罗干涉仪中，在第二反射镜结构被牺牲层支撑的状态下，通过静电力而使上侧可动反射镜向下侧固定反射镜侧移动。因此，在上侧可动反射镜向下侧固定反射镜侧移动时，对于第二反射镜结构中的被牺牲层支撑的区域，发生朝向上侧可动反射镜侧的作用力。然后，通过该力的反作用，应力作用于牺牲层中支撑上侧可动反射镜的区域。尤其是，在该法布里-珀罗干涉仪中，牺牲层的外侧面呈平面状，且与牺牲层中的与第一反射镜结构相反的一侧的表面正交，并且与第二反射镜结构的外侧面成为同一平面。因此，应力容易集中于牺牲层的外侧面中的第二反射镜结构侧的角部。其结果，具有在该角部产生裂痕等损伤的问题。

因此，本发明的一方式的目的在于，提供一种能够获得高可靠性的法布里-珀罗干涉滤光器。

[解决技术问题的技术手段]

本发明的一方式的法布里-珀罗干涉滤光器中，包括：基板，其具有第一表面；第一层，其具有配置于第一表面的第一反射镜部；第二层，其具有在相对于第一反射镜部而在与基板相反的一侧隔着空隙而与第一反射镜部相对的第二反射镜部；及中间层，其在第一层与第二层之间划定空隙；并且，中间层的外侧面以如下方式弯曲：中间层的基板侧的缘部比中间层的与基板相反的一侧的缘部在与第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置，并且，第二层覆盖中间层的外侧面。