[发明专利]气相工艺用再热捕集装置在审

专利信息
申请号: 201780042825.1 申请日: 2017-10-02
公开(公告)号: CN109477217A 公开(公告)日: 2019-03-15
发明(设计)人: 大塚悠太;田中康智;久保田涉;石崎雅人 申请(专利权)人: 株式会社IHI
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;B01D53/70;H01L21/205
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 张敬强;李平
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 捕集装置 流入路径 排气路径 再热 加热器 向上延伸 加热 连通 配置
【权利要求书】:

1.一种气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,具备:

容器,其在沿着轴的轴向上延伸并划分出室;

流入路径和排气路径,它们分别与所述室连通,并在所述轴向上相互分离地配置;以及

加热器,其在所述流入路径与所述排气路径之间加热所述室。

2.根据权利要求1所述的气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,

所述气相工艺用再热捕集装置还具备:挡板构造体,其具备一个以上的挡板,在所述轴向上能够移动,且在所述室内能够使所述挡板的至少一个位于所述流入路径与所述排气路径之间。

3.根据权利要求2所述的气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,

一个以上的所述挡板由绕所述轴绘制螺旋的曲面板、或者分别为平面或者曲面的多个板构成。

4.根据权利要求2所述的气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,

所述挡板构造体还具有支撑体,所述支撑体在所述轴向上能够移动,且由在所述室内沿所述轴向延伸的棒、多棱柱或者圆筒体构成,

一个以上的所述挡板是相互独立的多个板,且以与所述支撑体一起移动的方式分别支撑于所述支撑体。

5.根据权利要求2所述的气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,

以所述室包含反应室、待机室以及躲避室的方式上述容器被赋予尺寸,其中,所述反应室被所述加热器加热,所述待机室及躲避室分别与所述反应室连通,并以夹着所述反应室的方式从所述反应室在所述轴向上向外方分别延长,

所述挡板构造体遍及所述待机室、所述反应室以及所述躲避室的整体能够移动。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,

所述流入路径及所述排气路径配置成沿相对于所述轴非平行的朝向与所述室连通。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社IHI,未经株式会社IHI许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201780042825.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top