[发明专利]气相工艺用再热捕集装置在审
申请号: | 201780042825.1 | 申请日: | 2017-10-02 |
公开(公告)号: | CN109477217A | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 大塚悠太;田中康智;久保田涉;石崎雅人 | 申请(专利权)人: | 株式会社IHI |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;B01D53/70;H01L21/205 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 张敬强;李平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 捕集装置 流入路径 排气路径 再热 加热器 向上延伸 加热 连通 配置 | ||
1.一种气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,具备:
容器,其在沿着轴的轴向上延伸并划分出室;
流入路径和排气路径,它们分别与所述室连通,并在所述轴向上相互分离地配置;以及
加热器,其在所述流入路径与所述排气路径之间加热所述室。
2.根据权利要求1所述的气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,
所述气相工艺用再热捕集装置还具备:挡板构造体,其具备一个以上的挡板,在所述轴向上能够移动,且在所述室内能够使所述挡板的至少一个位于所述流入路径与所述排气路径之间。
3.根据权利要求2所述的气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,
一个以上的所述挡板由绕所述轴绘制螺旋的曲面板、或者分别为平面或者曲面的多个板构成。
4.根据权利要求2所述的气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,
所述挡板构造体还具有支撑体,所述支撑体在所述轴向上能够移动,且由在所述室内沿所述轴向延伸的棒、多棱柱或者圆筒体构成,
一个以上的所述挡板是相互独立的多个板,且以与所述支撑体一起移动的方式分别支撑于所述支撑体。
5.根据权利要求2所述的气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,
以所述室包含反应室、待机室以及躲避室的方式上述容器被赋予尺寸,其中,所述反应室被所述加热器加热,所述待机室及躲避室分别与所述反应室连通,并以夹着所述反应室的方式从所述反应室在所述轴向上向外方分别延长,
所述挡板构造体遍及所述待机室、所述反应室以及所述躲避室的整体能够移动。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的气相工艺用再热捕集装置,其特征在于,
所述流入路径及所述排气路径配置成沿相对于所述轴非平行的朝向与所述室连通。
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