[发明专利]对准载体的方法、用于对准载体的设备和真空系统

权利要求书

1.一种对准载体的方法，包括：

在运输方向(T)上运输载体(110)；

将对准组件(150)的第一对准元件(152)插入所述载体(110)的第二对准元件(112)中，或将所述载体(110)的所述第二对准元件(112)插入所述对准组件(150)的所述第一对准元件(152)中；和

通过降低或升高所述载体(110)来在所述运输方向(T)上水平地对准所述载体(110)。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述第一对准元件(152)是对准销并且所述第二对准元件(112)是向上或向下渐缩的凹槽，或所述第一对准元件(152)是向上或向下渐缩的凹槽并且所述第二对准元件(112)是对准销。

3.如权利要求1或2所述的方法，其中所述第一对准元件(152)是从所述对准组件(150)的附接板(151)突出的对准销，并且所述第二对准元件(112)是提供在所述载体(110)中并包括在向上方向上接近彼此的两个侧表面(153、154)的向上渐缩的凹槽，两个所述侧表面都通过降低所述载体(110)来与所述对准销接触。

4.如权利要求1至3中任一项所述的方法，进一步包括将所述对准组件(150)附接到水平对准的所述载体，特别是经由第一磁性装置(131)将所述对准组件(150)的附接板(151)磁性地附接到水平对准的所述载体。

5.如权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述对准组件(150)的附接板(151)连同附接至所述附接板的所述载体能够在向上或向下方向上移动，而所述附接板(151)在所述运输方向(T)上的移动被阻止。

6.如权利要求1至5中任一项所述的方法，进一步包括通过将所述载体(110)升高到预定水平来竖直地对准水平对准的所述载体(110)，特别是经由磁悬浮系统。

7.如权利要求1至6中任一项所述的方法，其中所述载体(110)是经构造而用于承载掩模装置的掩模载体(111)，所述方法进一步包括：

将掩模传送组件(181)的掩模保持部分(180)移动到水平对准的所述载体(110)；和下列中的至少一项：

(i)将第一掩模装置(10)从所述载体(110)传递到所述掩模保持部分(180)，和

(ii)将第二掩模装置(11)从所述掩模保持部分(180)传递到所述载体(110)。

8.如权利要求7所述的方法，

(i)其中将所述第一掩模装置(10)从所述载体(110)传递到所述掩模保持部分包括启用作用在所述第一掩模装置(10)与所述掩模保持部分(180)之间的第二磁性装置(132)的磁力，并且停用作用在所述第一掩模装置(10)与所述载体(110)之间的第三磁性装置(133)的磁力，或者

(ii)其中将所述第二掩模装置(11)从所述掩模保持部分(180)传递到所述载体(110)包括启用作用在所述第二掩模装置(11)与所述载体(110)之间的第三磁性装置(133)的磁力，并且停用作用在所述第二掩模装置(11)与所述掩模保持部分(180)之间的第二磁性装置(132)的磁力。

9.如权利要求7或8所述的方法，

(i)其中将所述第一掩模装置(10)从所述载体传递到所述掩模保持部分包括相对于被保持在所述掩模保持部分(180)处的所述第一掩模装置降低所述载体(110)，或者

(ii)其中将所述第二掩模装置(11)从所述掩模保持部分传递到所述载体包括相对于被保持在所述掩模保持部分(180)处的所述第二掩模装置(11)升高所述载体(110)。