[发明专利]光测量装置

权利要求书

1.一种光测量装置，其特征在于，

是对试样照射激发光并检测测量光的光测量装置，

具备：

积分器，其形成有所述激发光被入射的入射开口、及出射所述测量光的出射开口，且配置有所述试样；

导光部，其引导自所述出射开口出射的所述测量光；及

光检测部，其检测由所述导光部引导的所述测量光，

所述导光部具有以入射端面经由所述出射开口而朝向所述积分器内的方式配置的多个导光构件，

所述光检测部检测由多个所述导光构件的至少一个引导的所述测量光，

多个所述导光构件的所述入射端面侧的受光区域在所述积分器内彼此重叠，

还具备配置于所述积分器内的与所述出射开口相对的位置的挡板，

多个所述导光构件的所述入射端面上的光轴在所述出射开口与所述挡板之间彼此相交。

2.如权利要求1所述的光测量装置，其特征在于，

多个所述导光构件的所述入射端面上的光轴在所述积分器内彼此相交。

3.如权利要求1或2所述的光测量装置，其特征在于，

所述挡板由配置于所述积分器内的所述出射开口的周边的一对支撑柱支撑，

多个所述导光构件排列的方向、与一对所述支撑柱排列的方向交叉。

4.如权利要求1～3中任一项所述的光测量装置，其特征在于，

还具备：滤光部，其具有多个光学滤光器，能够将多个所述光学滤光器之中的任一个作为插入滤光器而插入到入射于多个所述入射端面的所述测量光各自的光路上。

5.如权利要求4所述的光测量装置，其特征在于，

所述滤光部包含ND滤光器、短通滤光器、长通滤光器、带通滤光器、陷波滤光器、及由光反射物质构成的滤光器的至少一种来作为所述光学滤光器。

6.如权利要求4或5所述的光测量装置，其特征在于，

所述滤光部具有：

基底部，其设置有多个所述光学滤光器；

驱动部，其以所述插入滤光器在多个所述光学滤光器之中进行切换的方式驱动所述基底部；及

控制部，其控制所述驱动部的驱动，

所述控制部选择多个所述光学滤光器之中的任一个来作为选择滤光器，并以所选择的该选择滤光器成为所述插入滤光器的方式使所述驱动部驱动。

7.如权利要求1～6中任一项所述的光测量装置，其特征在于，

所述光检测部具有与多个所述导光构件相同数量的多个光检测器，多个所述光检测器的分光灵敏度特性互不相同。