[发明专利]光测量装置有效
申请号: | 201780046021.9 | 申请日: | 2017-05-12 |
公开(公告)号: | CN109477797B | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 铃木健吾;井口和也;田边康行 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01N21/64 | 分类号: | G01N21/64;G01J1/02 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量 装置 | ||
光测量装置(1)是对试样照射激发光而检测测量光的光测量装置。光测量装置(1)具备:积分器(20),其形成有入射激发光的入射开口(22)、及出射测量光的出射开口(23),且配置有试样;导光部(30),其引导自出射开口(23)出射的测量光;及光检测部(40),其检测由导光部(30)引导的测量光。导光部(30)具有以入射端面(32a)经由出射开口(23)而朝向积分器(20)内的方式配置的多个导光构件(32)。光检测部(40)检测由多个导光构件(32)的至少一个引导的测量光。多个导光构件(32)的入射端面(32a)侧的受光区域在积分器(20)内彼此重叠。
技术领域
本发明的一个方面涉及一种光测量装置。
背景技术
一直以来,已知有对作为测定对象的试样照射激发光并检测测量光的光测量装置。作为该种技术,例如在专利文献1、2中记载有一种光测量装置,其具备:积分器,其配置有试样;及光检测器,其检测自积分器的出射开口出射的测量光。在专利文献1、2所记载的光测量装置中,为了可进行宽波长区域上的测量,使用分光灵敏度特性彼此不同的多个光检测器。在积分器形成有与光检测器对应的多个出射开口。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开第2015/151233号
专利文献2:日本特开2006-23284号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
在如上所述的光测量装置中,由于与光检测器对应的多个出射开口形成于积分器,因而积分器中的开口面积增大,因此,有积分器内的测量光的多重扩散反射特性降低的担忧。再者,由于各光检测器对来自形成于彼此不同的位置的出射开口的测量光进行检测,因而有使入射于各光检测器的测量光的强度分布产生不均的担忧。因此,在如上所述的光测量装置中,有测量光的检测精度降低的顾虑。
本发明的一个方面鉴于上述情况而完成,其目的在于,提供一种可精度良好地检测测量光的光测量装置。
解决问题的技术手段
本发明的一个方面的光测量装置是对试样照射激发光并检测测量光的光测量装置,具备:积分器,其形成有激发光被入射的入射开口、及出射测量光的出射开口,且配置有试样;导光部,其引导自出射开口出射的测量光;及光检测部,其检测由导光部引导的测量光;导光部具有以入射端面经由出射开口而朝向积分器内的方式配置的多个导光构件,光检测部检测由多个导光构件的至少一个引导的测量光,多个导光构件的入射端面侧的受光区域在积分器内彼此重叠。
在该光测量装置中,以入射端面经由出射开口而朝向积分器内的方式配置有多个导光构件,光检测部检测由多个导光构件的至少一个引导的测量光。由此,由于经由多个导光构件自共同的出射开口取出测量光,因而可减少积分器中的出射开口的形成数,并可确保积分器的多重扩散反射特性。另外,也可使由各导光构件取出的测量光的强度分布均匀化。再有,在该光测量装置中,多个导光构件的入射端面侧的受光区域在积分器内彼此重叠。由此,由于来自积分器内的共同的区域的测量光入射于多个导光构件,因而可使由各导光构件取出的测量光的强度分布进一步均匀化。因此,根据该光测量装置,可确保积分器的多重扩散反射特性且取出具有均匀的强度分布的测量光,并可精度良好地检测测量光。
在本发明的一个方面所涉及的光测量装置中,也可为多个导光构件的入射端面上的光轴在积分器内彼此相交。在该情况下,可显著地实现上述作用效果,即,由于来自积分器内的共同的区域的测量光入射于多个导光构件,因而可显著地实现能够使由各导光构件取出的测量光的强度分布进一步均匀化这样的作用效果。
本发明的一个方面所涉及的光测量装置也可还具备配置于积分器内的与出射开口相对的位置的挡板。在该情况下,可通过挡板防止来自试样的光直接入射于出射开口,可使测量光在积分器内可靠地多重扩散反射。
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