[发明专利]反射电极和Al合金溅射靶有效
| 申请号： | 201780052201.8 | 申请日： | 2017-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109644536B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 田内裕基;日野绫 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴克鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射 电极 al 合金 溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种反射电极，其特征在于，是由Al合金所构成的反射膜和透明导电膜形成的反射电极，
所述反射膜的主面与所述透明导电膜的主面接触，
并且所述Al合金中，按比例含有3～12原子％的Zn和0.01～0.3原子％的稀土元素，
所述稀土元素是从Nd、La、Ce和Y所构成的群中选择的至少一种，反射率为85％以上。
2.根据权利要求1所述的反射电极，其特征在于，所述Al合金中，含有合计0.05～5.0原子％的Ni和Cu中的至少一种。
3.一种Al合金溅射靶，其特征在于，形成权利要求1或2所述的反射电极中的所述反射膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
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