[发明专利]反射电极和Al合金溅射靶

说明书

本发明的目的在于，提供一种在有机EL显示器和有机EL照明等的元件中，充分降低其驱动电压，并具有高反射率的反射电极。本发明涉及由Al合金所构成的反射膜和透明导电膜构成的反射电极，其特征在于，所述反射膜的主面与所述透明导电膜的主面接触，并且所述Al合金中，按比例含有3～12原子％的Zn和0.01～0.5原子％的稀土元素。

技术领域

本发明涉及用于有机EL显示器和有机EL照明等元件的反射电极和用于形成该反射电极的反射膜的Al合金溅射靶。

背景技术

有机EL显示器和有机EL照明是利用有机材料的电致发光现象的器件，对这些器件的要求是，提高元件的光提取效率而使耗电功率降低。

从与基板相反方向提取光的顶部发光型有机EL显示器等的元件中，反射电极上层叠有有机材料。为了使有机材料所发生的光在基板侧反射，提升提取效率，反射电极适合光反射率高的材料，作为构成该反射电极的反射膜，使用的是在可见光波长区域反射率高的Ag和Al。另外，由于反射膜还有兼任作为电极的作用和部分配线的情况，所以也同时要求有低电阻率。

Ag在金属之中虽然具有最高的反射率，但是为贵金属，材料价格高。因此，Al是仅次于Ag的反射率高的金属，适合作为反射膜材料。但是，将Al作为反射膜利用时，该反射膜因该透明导电膜中的氧而被氧化，在反射膜的表面会不可避免地形成Al氧化膜。由于该Al氧化膜的存在，导致在上述顶部发光型有机EL显示器等的元件中，与将Ag用于反射膜的元件相比，驱动电压变高。

因此，在专利文献1中提出，使钨和钼所构成的金属膜介于Al反射膜与透明导电膜之间，借助该金属膜防止因透明导电膜中的氧造成的Al反射膜的氧化。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本国特开2012－110904号公报

但是，在专利文献1所述的方法中，由于使电阻率高的钨膜和钼膜介于Al反射膜与透明导电膜之间，所以不能充分降低元件整体的驱动电压。

发明内容

本发明其目的在于，提供一种在有机EL显示器和有机EL照明等的元件中，能够充分降低其驱动电压，具有高反射率的反射电极。

本发明者们为了解决上述课题进行了锐意研究。其结果发现，能够使反射膜为Al中添加有Zn和稀土元素的Al合金，能够一边维持作为反射电极·配线所要求的高反射率和低电阻率，一边降低有机EL发光元件的驱动电压。

即，本发明是涉及一种反射电极，由Al合金所构成的反射膜和透明导电膜构成，其中，所述反射膜的主面和所述透明导电膜的主面接触，并且所述Al合金中，按比例含有3～12原子％的Zn和0.01～0.5原子％的稀土元素。

根据本发明，构成反射电极的反射膜的Al合金以规定的比例含有Zn。该Zn在反射膜的表面不均衡分布，使形成于反射膜的表面的Al氧化膜的致密性降低。使其绝缘性劣化。因此，将该反射电极用于有机EL显示器和有机EL照明等的元件时，能够降低该元件的驱动电压。

另外，现有的Al反射膜，由于其表面平滑性低，所以该反射膜的反射率低。另外，如上述，若含有Zn，则可以降低驱动电压，另一方面，因为表面平滑性降低，所以反射率降低。此外，如果使用含Al反射膜的反射电极形成元件等，则有机层的膜厚变得不均匀，具有含Al反射膜的反射电极的元件有可能会发生短路。

然而，在本发明中，因为构成反射膜的Al合金按规定的比例含有稀土元素，所以即使含有Zn，也能够使该反射膜的表面平滑性提高。因此，能够抑制上述这样的反射膜的反射率的降低。另外，能够实现有机层的平滑化，此外还能够基于此而抑制元件的短路。

还有在本发明的一个方式中，Al合金中包含的稀土元素，是能够从Nd、La、Ce和Y所构成的群中选择的至少一种。