[发明专利]具有非功能性柱体的垂直存储器装置在审

专利信息
申请号: 201780053809.2 申请日: 2017-09-04
公开(公告)号: CN109643719A 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: J.赵;G.达马拉;D.A.戴科克;G.A.哈勒;S.S.S.韦贡塔;J.B.马托武;M.R.朴;P.R.莫克纳劳 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: H01L27/11582 分类号: H01L27/11582;H01L27/11573;H01L27/11575;H01L27/11565
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 徐予红;杨美灵
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 柱体 固态存储器 非功能性 存储器 源极线 位线 垂直存储器 存储器单元 电隔离 毗邻 外围 关联
【权利要求书】:

1.一种固态存储器部件,包含:

多条位线;

源极线;以及

多个非功能性存储器柱体,每个非功能性存储器柱体与所述多条位线和所述源极线之一或两者电隔离。

2.如权利要求1所述的固态存储器部件,还包含多个功能性存储器柱体,每个功能性存储器柱体电耦合到所述多条位线之一和所述源极线之一。

3.如权利要求2所述的固态存储器部件,其中所述多个功能性存储器柱体和所述多个非功能性存储器柱体均匀地跨所述固态存储器部件分布。

4.如权利要求2所述的固态存储器部件,其中所述多个功能性存储器柱体位于所述存储器部件的存储器阵列部分中,并且所述多个非功能性存储器柱体位于所述固态存储器部件的外围部分中。

5.如权利要求2所述的固态存储器部件,其中所述多个功能性存储器柱体和所述多个非功能性存储器柱体垂直地定向。

6.如权利要求2所述的固态存储器部件,其中存储器单元毗邻每个所述功能性存储器柱体和所述非功能性存储器柱体。

7.如权利要求6所述的固态存储器部件,其中每个存储器单元包含电荷存储结构。

8.如权利要求7所述的固态存储器部件,其中所述电荷存储结构是浮栅。

9.如权利要求7所述的固态存储器部件,其中每个存储器单元包含控制栅。

10.如权利要求6所述的固态存储器部件,其中每个存储器单元包含:

毗邻所述功能性或非功能性存储器柱体的隧道电介质;

毗邻所述隧道电介质的电荷存储结构;

毗邻所述电荷存储结构的阻挡电介质;以及

毗邻所述阻挡电介质的控制栅。

11.如权利要求6所述的固态存储器部件,其中毗邻所述功能性存储器柱体的所述存储器单元的串被串联耦合。

12.如权利要求1所述的固态存储器部件,其中所述多个非功能性存储器柱体的至少一些位于所述固态存储器部件的外围部分中。

13.如权利要求1所述的固态存储器部件,其中存储器单元毗邻每个所述非功能性存储器柱体。

14.如权利要求13所述的固态存储器部件,其中每个存储器单元包含电荷存储结构。

15.如权利要求14所述的固态存储器部件,其中所述电荷存储结构是浮栅。

16.如权利要求14所述的固态存储器部件,其中每个存储器单元包含控制栅。

17.如权利要求13所述的固态存储器部件,其中每个存储器单元包含:

毗邻所述非功能性存储器柱体的隧道电介质;

毗邻所述隧道电介质的电荷存储结构;

毗邻所述电荷存储结构的阻挡电介质;以及

毗邻所述阻挡电介质的控制栅。

18.如权利要求13所述的固态存储器部件,其中毗邻所述功能性存储器柱体的所述存储器单元的串被串联耦合。

19. 一种固态存储器部件,包含:

位于所述固态存储器部件的外围部分中的多个柱体;以及

毗邻每个所述柱体的存储器单元。

20.如权利要求19所述的固态存储器部件,其中每个存储器单元包含电荷存储结构。

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