[发明专利]检查系统的调节方法及其使用的辅助器件有效
申请号: | 201780054613.5 | 申请日: | 2017-07-25 |
公开(公告)号: | CN109729737B | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
发明(设计)人: | 内田稔 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R31/26 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检查 系统 调节 方法 及其 使用 辅助 器件 | ||
1.一种检查系统的调节方法,在所述检查系统出货前进行规定的调节,所述检查系统由对被检查体进行检查的多个检查模块和用于将被检查体搬运到所述多个检查模块的搬运模块组装而构成,利用所述搬运模块将被检查体搬运到各检查模块,对多个被检查体依次进行检查,所述调节方法的特征在于,包括:
准备具有所述检查模块的规定的功能或所述搬运模块的规定的功能的辅助器件的步骤;和
对于需要将所述检查模块与所述搬运模块组装成所述检查系统再进行调节的调节项目,不组装所述检查系统,通过将所述辅助器件连接到所述搬运模块或所述检查模块,来按单个所述搬运模块进行调节,或对所述多个检查模块按单个检查模块进行调节,或将所述多个检查模块作为一个系统进行调节的步骤。
2.如权利要求1所述的检查系统的调节方法,其特征在于:
所述辅助器件包括搬运模块模拟器,该搬运模块模拟器是软件上的假拟的搬运模块,其能够与所述检查模块连接,并能够对所述检查模块进行与所述搬运模块同样的控制信号的发送接收。
3.如权利要求1所述的检查系统的调节方法,其特征在于:
所述辅助器件包括检查模块模拟器,该检查模块模拟器是软件上的假拟的检查模块,其能够与所述搬运模块连接,并能够对所述搬运模块进行与所述检查模块同样的控制信号的发送接收。
4.如权利要求2所述的检查系统的调节方法,其特征在于:
所述辅助器件包括检查模块模拟器,该检查模块模拟器是软件上的假拟的检查模块,其能够与所述搬运模块连接,并能够对所述搬运模块进行与所述检查模块同样的控制信号的发送接收。
5.如权利要求3所述的检查系统的调节方法,其特征在于:
在利用所述检查模块模拟器进行所述搬运模块的调节时使用被检查体的假拟放置治具,该假拟放置治具用于在基于来自所述检查模块模拟器的控制信号利用所述搬运模块进行被检查体的搬运来进行所述搬运模块的调节时,模拟所述检查模块的被检查体的载置台。
6.如权利要求4所述的检查系统的调节方法,其特征在于:
在利用所述检查模块模拟器进行所述搬运模块的调节时使用被检查体的假拟放置治具,该假拟放置治具用于在基于来自所述检查模块模拟器的控制信号利用所述搬运模块进行被检查体的搬运来进行所述搬运模块的调节时,模拟所述检查模块的被检查体的载置台。
7.如权利要求1~6中任一项所述的检查系统的调节方法,其特征在于:
所述辅助器件包括假拟搬运模块治具,其能够与所述检查模块连接,并能够对所述检查模块发送与能够从所述搬运模块发送的电信号同样的电信号。
8.如权利要求1~6中任一项所述的检查系统的调节方法,其特征在于:
所述辅助器件包括假拟检查模块治具,其能够与所述搬运模块连接,并能够对所述搬运模块发送与能够从所述检查模块发送的电信号同样的电信号。
9.如权利要求1~6中任一项所述的检查系统的调节方法,其特征在于,还包括以下操作:
使用检查模块调节自诊断软件进行规定的动作的调节,其中所述检查模块调节自诊断软件用于按单个所述检查模块假拟地进行规定的动作。
10.如权利要求1~6中任一项所述的检查系统的调节方法,其特征在于,还包括以下操作:
在所述检查系统的框架上安装用于使所述检查模块的定位块的间隔与规定间隔一致的定位治具。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造