[发明专利]膜的制造方法

权利要求书

1.一种膜的制造方法，将包含形成膜的材料及溶剂的原料溶液供给到基板上，通过使所述溶剂干燥而将所述膜形成在所述基板上，所述膜的制造方法的特征在于，

使用在所述基板上保持所述原料溶液的涂布刮板，

所述涂布刮板具有：对置面，与所述基板的表面相对置；及至少1个侧面，设在所述对置面的周围，且与所述原料溶液接触，

使所述原料溶液的所述溶剂沿着特定方向干燥而形成所述膜。

2.根据权利要求1所述的膜的制造方法，其中，

至少所述涂布刮板的所述对置面及2个所述侧面这3面与所述原料溶液接触。

3.根据权利要求1或2所述的膜的制造方法，其中，

由所述涂布刮板的至少1个面确定干燥所述原料溶液的所述特定方向，该至少1个面是所述涂布刮板的所述对置面及至少2个所述侧面中的至少1个面。

4.根据权利要求1～3中任1项所述的膜的制造方法，其中，

仅由所述涂布刮板的1个面确定干燥所述原料溶液的所述特定方向，该1个面是所述涂布刮板的所述对置面及至少2个所述侧面中的1个面。

5.根据权利要求4所述的膜的制造方法，其中，

仅由所述涂布刮板的所述对置面，确定干燥所述原料溶液的所述特定方向。

6.根据权利要求1～5中任1项所述的膜的制造方法，其中，

所述涂布刮板具有2个侧面，2个所述侧面分别与所述基板的表面垂直，且相互对置设置。

7.根据权利要求1～6中任1项所述的膜的制造方法，其中，

所述涂布刮板的所述对置面相对于所述基板的表面倾斜。

8.根据权利要求7所述的膜的制造方法，其中，

所述涂布刮板的所述对置面相对于所述基板的表面的倾角为1°～6°。

9.根据权利要求1～8中任1项所述的膜的制造方法，其中，

被所述涂布刮板保持在所述基板上的所述原料溶液中，膜生长界面朝向所述原料溶液的中心而弯曲。

10.根据权利要求1～9中任1项所述的膜的制造方法，其中，

所述涂布刮板相对于所述基板的表面的位置是固定的。

11.根据权利要求1～9中任1项所述的膜的制造方法，其中，

所述涂布刮板具有开放所述原料溶液的周围的至少一部分的开放部，使所述基板向从所述原料溶液的中心朝向所述开放部的方向移动。

12.根据权利要求11所述的膜的制造方法，其中，

将所述原料溶液供给到所述基板的表面与所述涂布刮板之间，并且移动所述基板来连续形成所述膜。

13.根据权利要求1～12中任1项所述的膜的制造方法，其中，

将所述原料溶液的所述溶剂的沸点设为Tb℃，将基板温度设为Ts℃时，所述基板温度Ts保持在Tb-50℃≤Ts≤Tb的温度。

14.根据权利要求1～13中任1项所述的膜的制造方法，其中，

所述膜由具有取向性的材料形成。

15.根据权利要求14所述的膜的制造方法，其中，

所述具有取向性的材料为形成晶体的材料或有机半导体。