[发明专利]用于表征光源的方法和设备有效
申请号: | 201780055643.8 | 申请日: | 2017-07-06 |
公开(公告)号: | CN109690266B | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 约翰·乔治斯奥尔努瓦;本杰明·希曼斯基;伯特兰·哈迪-巴兰斯基 | 申请(专利权)人: | 布鲁工业科技公司 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 谢攀;刘继富 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 表征 光源 方法 设备 | ||
本发明涉及一种用于表征光源(1)的方法,所述光源包括具有自由光谱范围的固定腔(2),所述方法包括:‑产生第一辐射(3);由至少一个传感器(4)接收该第一辐射的至少一部分;由每个传感器针对源的每个扫描状态测量信号;基于针对源的每个扫描状态所测量的信号,计算表示所述第一辐射的波长的第一数据项,所述计算包括针对源的每个扫描状态,从几个可能的值中选择所述第一数据项的选定值,所述选择包括消除第一数据项的、不对应于常数乘以固定腔的以所述第一数据项的单位表示的自由光谱范围的模的值。
技术领域
本发明涉及一种用于表征光源的方法。本发明还涉及用于表征光源的设备,以及包括这种设备的系统。
这种设备允许用户表征光源,例如由该光源发射的辐射的波长。
背景技术
在现有技术中已知用于测量由光源发射的辐射的波长的不同设备。
这些设备需要探索一系列可能的波长,以便从波长范围内确定哪个是由源发射的波长。这种探索通常可以如下进行:
-使用昂贵的技术方案,并通过光电二极管阵列进行探索。现有解决方案提出Fabry-Perot配置,其无需活动的机械部件,但需要阵列作为检测器。无需移动部件对于稳定性和可靠性而言是一个明确的优势。另一方面,使用检测阵列是成本方面的缺点,特别是当测量超过1100nm的波长并且不能再使用硅时。然后需要转向更昂贵的材料,例如用于电信波长的InGaAs,或甚至用于中红外的PbSe或MCT。阵列通常花费数千欧元。
-使用缓慢的技术方案,以及通过可调谐Fabry-Perot进行探索。可调谐Fabry-Perot解决方案不使用阵列,而只使用一个或更多个光电二极管。然而,为了执行期望的探索并获得期望的信息(Fabry-Perot透射峰值的位置),需要移动Fabry-Perot反射镜中的一个。这种扫描显著减慢了测量速度。实际上,对于反射镜的每个位置都需要采集,而不是在使用阵列检测器的同时采集整个干涉图。对于0.1ms的典型响应时间和100个反射镜位置的测量,一次测量的最小时间是10ms,将刷新率限制为100Hz(不考虑处理时间)。
本发明的目的是提出一种用于表征光源的方法和/或设备,其能够实现比现有技术更经济和/或更快速的表征。
发明内容
该目的通过一种表征光源的方法来实现,所述光源包括具有自由光谱范围的固定腔,所述方法包括:
-根据源的状态或源的不同探索状态由源产生第一辐射,
-由至少一个传感器接收该第一辐射的至少一部分,每个传感器包括Fabry-Perot标准具,所述Fabry-Perot标准具后接光电二极管,
-针对源的每个探索状态由每个传感器测量信号,该信号随该传感器在源的该探索状态下接收的第一辐射的至少一部分变化,
-根据针对源的每个探索状态测量的信号,计算表示第一辐射的波长的第一数据项,该计算包括针对源的每个探索状态从几个可能的值中选择第一数据项的选定值,所述选择包括消除第一数据项的、不对应于常数乘以固定腔的以第一数据项的单位表示的自由光谱范围的模的值。
例如,在根据本发明的方法中,能够在消除步骤之前计算或确定或记录常数。例如,能够在消除步骤之前由用户输入常数。
在根据本发明的方法中,固定腔的自由光谱范围例如能够在消除步骤之前被记录。固定腔的自由光谱范围能够例如在消除步骤之前由用户输入。
源的不同状态优选地通过源的对源发射的第一辐射的波长有影响的物理参数的差异来区分。
每个传感器优选地不包括光电二极管阵列。
每个传感器的Fabry-Perot标准具优选地不包括任何移动部件。
表示第一辐射的波长的第一数据项可以是:
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