[发明专利]检测装置、检测方法、图案化装置以及物品制造方法

权利要求书

1.一种检测装置，用于对可移动的物体上的标记的位置进行检测，其特征在于，该检测装置具有：

确定机构，该确定机构在从上述物体首次到达目标位置起直至上述物体相对于上述目标位置的偏差收敛在规定范围内为止的期间，比较上述物体的速度与规定值，确定上述物体的速度成为上述规定值以下的多个时机；

拍摄机构，该拍摄机构在由上述确定机构确定出的上述多个时机对上述标记进行拍摄；以及

检测机构，该检测机构基于根据由上述拍摄机构拍摄到的图像而得到的检测信号来检测上述检测信号的波形所表示的上述标记的位置，

上述检测机构基于上述多个时机的多个上述偏差的平均值对上述检测信号的波形所表示的上述标记的位置进行修正。

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

上述确定机构基于上述物体的位置信息来确定上述多个时机。

3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

上述检测机构基于根据在上述多个时机分别由上述拍摄机构拍摄到的图像而得到的检测信号来检测上述标记的位置，基于上述多个时机各自的上述偏差对检测到的上述标记的位置进行修正。

4.如权利要求3所述的检测装置，其特征在于，

上述检测机构基于使根据在上述多个时机分别由上述拍摄机构拍摄到的图像而得到的多个检测信号偏移了上述多个时机各自的上述物体的偏差并重叠到一起的结果，检测上述检测信号的波形所表示的上述标记的位置。

5.如权利要求3所述的检测装置，其特征在于，

从上述物体首次到达上述目标位置起算的经过时间越长，上述拍摄机构就使上述标记的拍摄持续时间变得越长。

6.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

上述拍摄机构控制上述拍摄机构的电子快门的开闭时机或者来自对上述标记进行照明的光源的光的发光时机，在上述多个时机对上述标记进行拍摄。

7.一种图案化装置，用于在基板上形成图案，其特征在于，该图案化装置具有：

检测装置，该检测装置对可移动的物体上的标记的位置进行检测；

移动机构，该移动机构使作为上述检测装置的检测对象的设有标记的物体移动；以及

测量机构，该测量机构测量上述物体的位置，

上述检测装置具有：

确定机构，该确定机构在从上述物体首次到达目标位置起直至上述物体相对于上述目标位置的偏差收敛在规定范围内为止的期间，比较上述物体的速度与规定值，确定上述物体的速度成为上述规定值以下的多个时机；

拍摄机构，该拍摄机构在由上述确定机构确定的上述多个时机对上述标记进行拍摄；以及

检测机构，该检测机构基于根据由上述拍摄机构拍摄到的图像而得到的检测信号来检测上述检测信号的波形所表示的上述标记的位置，

上述检测机构基于上述多个时机的多个上述偏差的平均值对上述检测信号的波形所表示的上述标记的位置进行修正。

8.一种检测方法，用于对设在可移动的物体上的标记的位置进行检测，其特征在于，该检测方法具有：

确定工序，在从上述物体首次到达目标位置起直至上述物体相对于上述目标位置的偏差收敛在规定范围内为止的期间，比较上述物体的速度与规定值，确定上述物体的速度成为上述规定值以下的多个时机；

拍摄工序，在由上述确定工序确定出的上述多个时机对上述标记进行拍摄；以及

检测工序，基于根据由上述拍摄工序拍摄到的图像而得到的检测信号来检测上述检测信号的波形所表示的上述标记的位置，

在上述检测工序中，基于上述多个时机的多个上述偏差的平均值对上述检测信号的波形所表示的上述标记的位置进行修正。

9.一种物品制造方法，其特征在于，具有：

图案形成工序，使用在基板上形成图案的图案化装置来在上述基板上形成图案；以及

处理工序，对由上述图案形成工序形成了图案的基板进行处理，

从经过处理的上述基板制造物品，

上述图案化装置具有：

检测装置，该检测装置对可移动的物体上的标记的位置进行检测；

移动机构，该移动机构使作为上述检测装置的检测对象的设有标记的物体移动；以及

测量机构，该测量机构测量上述物体的位置，

上述检测装置具有：

确定机构，该确定机构在从上述物体首次到达目标位置起直至上述物体相对于上述目标位置的偏差收敛在规定范围内为止的期间，比较上述物体的速度与规定值，确定上述物体的速度成为上述规定值以下的多个时机；

拍摄机构，该拍摄机构在由上述确定机构确定的上述多个时机对上述标记进行拍摄；以及

检测机构，该检测机构基于根据由上述拍摄机构拍摄到的图像而得到的检测信号来检测上述检测信号的波形所表示的上述标记的位置，

上述检测机构基于上述多个时机的多个上述偏差的平均值对上述检测信号的波形所表示的上述标记的位置进行修正。