[发明专利]检测装置、检测方法、图案化装置以及物品制造方法

说明书

本发明涉及对可移动的物体(3、4a)上的标记的位置进行检测的检测装置(25)。检测装置(25)具有：控制部(24)，其具有作为确定机构的功能，在从物体(3、4a)到达目标位置起直至稳定为止的期间，确定物体(3、4a)的速度变成规定值以下的时机；拍摄机构(13、16)，其在由控制部(24)确定的时机对标记进行拍摄；以及检测机构(22、23)，其基于由拍摄机构(13、16)得到的拍摄结果和上述时机的物体(3、4a)的位置信息来检测标记的位置。

技术领域

本发明涉及检测装置、检测方法、光刻装置以及物品制造方法。

背景技术

在曝光装置中，基于预先检测到的载台顶板上的基板所形成的对准标记、设在载台顶板上的基准标记(以下称为标记)的位置，对曝光期间的基板进行定位。因而，为了减小已经形成的图案与新形成的图案的重合误差，高精度地检测标记的位置是很重要的。

为了高精度地检测标记的位置，检测时保持基板的载台顶板的振动少越好。因而，在载台顶板稳定以后，即载台顶板的位置相对于目标位置的偏差收敛在规定范围内以后(稳定以后)，开始检测标记的位置。

专利文献1公开了在确定标记的合焦位置时在载台顶板正在振动的状态下直接检测标记的方法。具体来讲，在载台顶板使基板在光轴方向移动的同时光源朝向标记发射多次脉冲光，并且对该脉冲光发射的每个瞬间的载台顶板相对于目标位置的偏差进行测量。记载的是，基于通过脉冲光的发射而得的多个标记的拍摄结果和载台顶板的偏差来确定标记的合焦位置。

在专利文献1中，无论载台顶板的速度(每单位时间的载台顶板的位置变化)的大小如何，都在规定的时间内每隔固定时间就进行标记的检测，因而存在拍摄得到的图像变模糊的可能性。

本发明的目的在于提供在可移动的物体稳定之前检测该物体上的标记的情况下能够高精度地检测标记的检测装置。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-40491号公报

发明内容

本发明所涉及的检测装置，用于对可移动的物体上的标记的位置进行检测，其特征在于，该检测装置具有：确定机构，该确定机构在从上述物体到达目标位置起直至稳定为止的期间，确定上述物体的速度成为规定值以下的时机；拍摄机构，该拍摄机构在由上述确定机构确定出的时机对上述标记进行拍摄；以及检测机构，该检测机构基于由上述拍摄机构得到的拍摄结果和上述时机的上述物体的位置信息来检测上述标记的位置。

附图说明

图1是示出第1实施方式所涉及的曝光装置的构成的图。

图2是示出顶板上的标记的配置的图。

图3是示出顶板的位置的偏差的图。

图4是示出标记的位置的检测方法的流程图。

图5是示出第1实施方式中的拍摄时机的图。

图6是示出第1实施方式所涉及的检测信号的图。

图7A是示出使第2实施方式所涉及的检测信号的波形位移了的结果的图。

图7B是示出第2实施方式所涉及的检测信号的最终波形的图。

图8是示出第3实施方式中的标记的检测时机的图。

具体实施方式

实施例1

以下，对将第1实施方式所涉及的检测装置应用于曝光装置的实施方式进行说明，但本发明的检测装置也可以应用于后述的其他装置。另外，在各图中，对相同的部件标注相同的附图标记。