[发明专利]蒸镀掩模、带框架的蒸镀掩模、蒸镀掩模制备体、蒸镀图案形成方法、有机半导体元件的制造方法、有机EL显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201780055858.X | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN109689922B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 小幡胜也;曾根康子;穗刈久实子 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陆悦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 框架 制备 图案 形成 方法 有机半导体 元件 制造 有机 el 显示装置 | ||
1.一种框架一体式的蒸镀掩模，在框架上固定有蒸镀掩模，其中，
所述蒸镀掩模包括：
树脂掩模，其具有与要蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部；
孤立的多个金属层，其局部地位于所述树脂掩模的一面上；
所述树脂掩模呈具有长边和短边的四边形，
所述多个金属层在所述树脂掩模的一面上包括位于所述树脂掩模的短边方向两端且沿着所述树脂掩模的长边的带形状的金属层，
在所述树脂掩模的一面上，将与所述框架重合的区域作为周缘部，将与所述框架不重合的区域作为非周缘部时，沿着所述树脂掩模的长边的带形状的金属层跨过所述周缘部和所述非周缘部，并且形成该金属层的长边的一边全部与所述周缘部重合。
2.一种框架一体式的蒸镀掩模制备体，在框架上固定有蒸镀掩模制备体，其中，
所述蒸镀掩模制备体包括：
树脂板，其形成有与要蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部；
孤立的多个金属层，其局部地位于所述树脂掩模的一面上；
所述树脂板呈具有长边和短边的四边形，
所述多个金属层在所述树脂掩模的一面上包括位于所述树脂掩模的短边方向两端且沿着所述树脂掩模的长边的带形状的金属层，
在所述树脂掩模的一面上，将与所述框架重合的区域作为周缘部，将与所述框架不重合的区域作为非周缘部时，沿着所述树脂掩模的长边的带形状的金属层跨过所述周缘部和所述非周缘部，并且形成该金属层的长边的一边全部与所述周缘部重合。
3.一种蒸镀图案形成方法，使用框架一体式的蒸镀掩模在蒸镀对象物上形成蒸镀图案，其中，
所述框架一体式的蒸镀掩模是权利要求1所述的框架一体式的蒸镀掩模。
4.一种有机半导体元件的制造方法，其中，包括：
蒸镀图案形成工序，其使用框架一体式的蒸镀掩模在蒸镀对象物上形成蒸镀图案，
所述蒸镀图案形成工序中使用的所述框架一体式的蒸镀掩模是权利要求1所述的框架一体式的蒸镀掩模。
5.一种有机EL显示装置的制造方法，其中，
使用由权利要求4所述的有机半导体元件的制造方法制造的有机半导体元件。
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