[发明专利]在极紫外光源中的靶轨迹量测

权利要求书

1.一种测量当靶在激光等离子体极紫外光源中沿着所述靶的轨迹行进时所述靶的移动性质的方法，所述方法包括：

形成与扩展的靶区域至少部分重合的剩余等离子体，所述剩余等离子体是由靶空间中的先前辐射脉冲与先前靶之间的相互作用形成的等离子体；

沿着朝向所述靶空间的轨迹释放当前靶，所述轨迹与所述扩展的靶区域至少部分地重叠，所述当前靶包括当被转换为等离子体时发射极紫外(EUV)光的组分；

当所述当前靶在所述扩展的靶区域内时，并且在先前且相邻的靶已经与所述靶空间中的先前辐射脉冲相互作用之后，确定所述当前靶的一个或多个移动性质；以及

如果所确定的所述当前靶的一个或多个移动性质中的任何移动性质在可接受范围之外，则调节被引导朝向所述靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括使所述辐射脉冲与所述靶空间中的目前靶相互作用，其中所述目前靶是已经进入所述靶空间的当前靶或者是已经进入所述靶空间的另一靶，其中所述另一靶在所述当前靶进入所述靶空间的时间之后的时间进入所述靶空间。

3.根据权利要求2所述的方法，其中调节被引导朝向所述靶空间的所述辐射脉冲的所述一个或多个特性引起对所述辐射脉冲和所述目前靶之间的相对定位的调节。

4.根据权利要求1所述的方法，其中当所述当前靶在所述扩展的靶区域内时确定所述当前靶的一个或多个移动性质包括：确定所述当前靶的速度、所述当前靶的所述轨迹的方向和所述当前靶的加速度中的一项或多项。

5.根据权利要求2所述的方法，其中所述辐射脉冲将能量传送到所述目前靶以修改所述目前靶的几何分布，所述方法进一步包括：在朝向所述目前靶引导所述辐射脉冲之后，朝向所述目前靶引导主辐射脉冲，从而将所述目前靶的至少一部分转换成发射极紫外光的等离子体。

6.根据权利要求1所述的方法，进一步包括分析所确定的一个或多个移动性质，其中调节所述辐射脉冲的所述一个或多个特性是基于对所确定的所述当前靶的一个或多个移动性质的所述分析。

7.根据权利要求1所述的方法，其中调节所述辐射脉冲的一个或多个特性包括：调节所述辐射脉冲的释放的定时和所述辐射脉冲行进的方向中的一项或多项。

8.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述当前靶的所述一个或多个移动性质包括：

检测在所述扩展的靶区域内在第一位置处的所述当前靶与第一诊断光束之间的第一相互作用；

检测在所述扩展的靶区域内在第二位置处的所述当前靶与第二诊断光束之间的第二相互作用，所述第二位置与所述第一位置不同；以及

基于所述第一相互作用和所述第二相互作用的检测来确定所述一个或多个移动性质。

9.根据权利要求8所述的方法，其中确定所述当前靶的所述一个或多个移动性质包括：

朝向所述第一位置处的所述当前靶引导所述第一诊断光束；以及

朝向所述第二位置处的所述当前靶引导所述第二诊断光束。

10.根据权利要求9所述的方法，其中：

朝向所述第一位置处的所述当前靶引导所述第一诊断光束包括：沿朝向所述当前靶的第一方向引导所述第一诊断光束；以及

朝向所述第二位置处的所述当前靶引导所述第二诊断光束包括：沿朝向所述当前靶的第二方向引导所述第二诊断光束，所述第二方向与所述第一方向不平行。

11.根据权利要求9所述的方法，其中：

检测所述第一相互作用包括：检测在第一时间从所述当前靶和所述第一诊断光束之间的所述相互作用产生的光；

检测所述第二相互作用包括：检测在第二时间从所述当前靶和所述第二诊断光束之间的所述相互作用产生的光，所述第二时间与所述第一时间不同；以及

确定所述当前靶的所述一个或多个移动性质是基于对所述光的所述检测的分析。