[发明专利]在极紫外光源中的靶轨迹量测

说明书

描述了一种用于测量靶的移动性质的方法。方法包括：形成与扩展的靶区域至少部分重合的剩余等离子体，剩余等离子体是由靶空间中的先前辐射脉冲与先前靶之间的相互作用形成的等离子体；沿着轨迹朝向靶空间释放当前靶，该靶空间与扩展的靶区域至少部分地重叠；当当前靶在扩展的靶区域内时，并且在先前且相邻的靶已经与靶空间中的先前辐射脉冲相互作用之后，确定当前靶的一个或多个移动性质；以及如果当前靶的任何所确定的一个或多个移动性质在可接受范围之外，则调节被引导朝向靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2016年9月14日提交的美国申请号15/265,373的优先权权益，并且该申请通过引用整体并入本文。

技术领域

所公开的主题涉及用于在激光等离子体极紫外光源中沿着靶的轨迹测量靶的各方面的改变的系统和方法。

背景技术

极紫外(EUV)光，例如具有波长为约50nm或更小的电磁辐射(有时也被称为软x射线)，并且包括波长为约13nm的光，可以被用在光刻工艺中以在例如硅晶片的衬底中产生极小的特征。

产生EUV光的方法包括但不必限于将具有元素(例如氙、锂或锡)的材料转换为等离子体状态的EUV范围内的发射线。在一种这样的方法中，通常被称为激光等离子体(“LPP”)的所需等离子体可以通过用可以被称为驱动激光的放大光束，例如以材料的滴、板、带、流或簇的形式照射靶材料来产生。对于该过程，等离子体通常在密封容器(例如真空腔室)中产生，并使用各种类型的量测设备进行监测。

发明内容

在一些一般方面中，描述了一种方法，用于测量当靶在激光等离子体极紫外光源中沿着靶的轨迹行进时靶的移动性质。该方法包括：形成与扩展的靶区域至少部分重合的剩余等离子体，剩余等离子体是由靶空间中的先前辐射脉冲与先前靶之间的相互作用形成的等离子体；沿着轨迹朝向靶空间释放当前靶，该靶空间与扩展的靶区域至少部分地重叠，当前靶包括当被转换为等离子体时发射极紫外(EUV)光的组分；在当前靶在扩展的靶区域内时，并且在先前且相邻的靶已经与靶空间中的先前辐射脉冲相互作用之后，确定当前靶的一个或多个移动性质；以及如果当前靶的任何所确定的一个或多个移动性质在可接受范围之外，则调节被引导朝向靶空间的辐射脉冲的一个或多个性质。

实现可以包括以下一个或多个特征。例如，方法还可以包括使辐射脉冲与靶空间中的目前靶相互作用。目前靶是已经进入靶空间的当前靶或已经进入靶空间的另一靶。另一靶在当前靶进入靶空间的时间之后的时间进入靶空间。

对被引导朝向靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性的调节可以引起辐射脉冲与目前靶之间的相对位置的调节。

可以通过确定当前靶的速度、当前靶的轨迹的方向和当前靶的加速度中的一项或多项来确定当前靶的一个或多个移动性质。

辐射脉冲可以将能量传送到目前靶以修改目前靶的几何分布。方法可以包括在朝向目前靶引导辐射脉冲之后，朝向目前靶引导主辐射脉冲，从而将目前靶的至少部分转换成发射极紫外光的等离子体。

方法可以包括分析所确定的一个或多个移动性质，其中调节辐射脉冲的一个或多个特性是基于对所确定的当前靶的一个或多个移动性质的分析。

可以通过调节辐射脉冲的释放的定时和辐射脉冲行进的方向中的一项或多项来调节辐射脉冲的一个或多个特性。

当前靶的一个或多个移动性质可以通过以下来确定：检测在扩展的靶区域内在第一位置处的当前靶与第一诊断光束之间的第一相互作用；检测在扩展的靶区域内在第二位置处的当前靶与第二诊断光束之间的第二相互作用，第二位置与第一位置不同；以及基于第一相互作用和第二相互作用的检测来确定一个或多个移动性质。当前靶的一个或多个移动性质可以通过以下来确定：朝向第一位置处的当前靶引导第一诊断光束；以及朝向第二位置处的当前靶引导第二诊断光束。