[发明专利]含不饱和基团的碱溶性树脂和碱溶型放射线敏感性树脂组合物

权利要求书

1.一种含不饱和基团的碱溶性树脂，其特征在于，其为

(a)具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、

(b)不具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、以及

(c)四羧酸或其酸二酐的反应物。

2.如权利要求1所述的含不饱和基团的碱溶性树脂，其为

(a)具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、

(b)不具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、

(c)四羧酸或其酸二酐、以及

(d)二羧酸或者三羧酸或其酸酐的反应物。

3.如权利要求1或2所述的含不饱和基团的碱溶性树脂，其中，(b)成分具有环状结构。

4.一种含不饱和基团的碱溶性树脂，其特征在于，其由下述通式(1)表示，

[化1]

通式(1)中，A相互独立地表示下述通式(2)或(3)所示的结构，通式(2)所示的结构与通式(3)所示的结构的摩尔比为通式(2)：通式(3)＝90：10～20：80，B相互独立地表示下述通式(4)所示的结构，C相互独立地表示氢原子或下述通式(5)所示的结构，l为重复数的平均值、且相互独立地表示0～20，m为重复数的平均值、且表示1～20，n相互独立地表示0～20的整数，

[化2]

通式(2)中，D表示从具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯除去环氧(甲基)丙烯酸酯部位后的二价基团，R¹相互独立地表示氢原子或甲基，

[化3]

通式(3)中，E表示从不具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯除去环氧(甲基)丙烯酸酯部位后的多价基团，R¹相互独立地表示氢原子或甲基，n表示0～20的整数，

-CO-X(COOH)₂-CO- (4)

通式(4)中，X表示四羧酸残基，

-CO-Y-(COOH)_y (5)

通式(5)中，Y表示2～4元的多元羧酸残基，y表示1～3的整数。

5.如权利要求4所述的含不饱和基团的碱溶性树脂，其中，在通式(2)中，D表示下述通式(6)所示的结构，

[化4]

通式(6)中，R²相互独立地表示氢原子、碳原子数为1～5的烷基、苯基或卤素基团，k表示0～10的整数。

6.如权利要求4或5所述的含不饱和基团的碱溶性树脂，其中，在通式(1)中，C表示通式(5)所示的结构，并且在通式(5)中，Y表示2元或3元的多元羧酸残基，y表示1或2的整数。

7.如权利要求1～6中任一项所述的含不饱和基团的碱溶性树脂，其酸值为100以下。

8.一种碱溶型放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，其包含：

(A)权利要求1～7中任一项所述的含不饱和基团的碱溶性树脂、

(B)光聚合性单体和/或低聚物、

(C)光聚合引发剂、以及

(D)溶剂。

9.一种固化膜，其特征在于，其是使权利要求8所述的碱溶型放射线敏感性树脂组合物固化而成的。

10.一种滤色器，其特征在于，其包含权利要求9所述的固化膜。

11.一种薄膜晶体管，其特征在于，其包含权利要求9所述的固化膜。