[发明专利]处理超纯水的方法和系统

权利要求书

1.一种水精处理系统(100；600)，包括：

超纯水源(105)的连接部；

超滤模块(110)，其具有入口和渗透物出口；

振动源(165)，其可操作地联接至所述超滤模块，所述振动源被配置为通过在超纯水的过滤期间向所述超滤模块施加振动而增加所述超滤模块的膜的颗粒保留效率；

再循环管道(120)，其使所述渗透物出口与所述入口连通并形成再循环回路；

再循环泵(115)，其沿着所述再循环管道设置在所述超滤模块的所述入口的上游，并流体地联接到所述超纯水源；

供应管道(145)，其流体地联接到所述再循环管道和需求源，所述供应管道位于所述渗透物出口的下游；

压力控制阀(125)，其沿着所述再循环管道设置在所述供应管道的下游，所述压力控制阀被配置为将渗透物的压力保持在预定值；

压力传感器(140)，所述压力传感器沿着所述再循环管道定位在所述供应管道和所述压力控制阀之间，所述压力传感器被配置成产生表示渗透物的压力的压力信号；以及

控制器，所述控制器可操作地联接到所述压力传感器，并被配置为基于所述压力信号控制所述压力控制阀的操作。

2.根据权利要求1所述的水精处理系统，还包括：

超纯水补充管道(170)，其流体地联接到所述超纯水源和所述再循环管道；和

混合点(147)，在所述混合点处，所述超纯水补充管道流体地连接到所述再循环管道，使得所述压力控制阀位于所述混合点和所述压力传感器之间，并且所述控制器被配置成操作所述压力控制阀，使得渗透物的压力保持在预定压力值。

3.根据权利要求2所述的水精处理系统，其中，所述再循环泵位于所述混合点的下游，使得处于所述预定压力值的包括超纯水和渗透物的流体被输送到所述再循环泵。

4.根据权利要求3所述的水精处理系统，其中，所述再循环泵被配置成以预定的恒定速度操作。

5.根据权利要求4所述的水精处理系统，其中，所述超滤模块还包括用于从所述超滤模块排出渗余物的排出出口(122)和流体地联接到所述排出出口的排出管道。

6.根据权利要求1所述的水精处理系统，还包括沿着所述再循环管道设置的储存罐(655)。

7.一种处理水的方法，包括：

接收从超纯水源引向再循环泵的超纯水流；

将所述再循环泵的速度设定为预定的恒定速度；

将包括超纯水的流体引导至超滤模块的入口；

使用所述再循环泵和再循环管道将渗透物的至少一部分从所述超滤模块的渗透物出口再循环到所述入口；

提供能够从关闭状态致动到打开状态的阀装置，用于影响渗透物到所述再循环泵的压力；

在处于所述阀装置的上游且处于所述渗透物出口的下游的位置处测量渗透物的压力；

沿着所述再循环管道在处于压力测量位置的上游且处于所述渗透物出口的下游的位置处向需求源提供供应管道；

将所测量的渗透物的压力与预定值进行比较；和

响应于所述比较，致动所述阀装置；并且

还包括在超纯水的过滤期间向所述超滤模块施加振动以增加所述超滤模块的膜的颗粒保留效率。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述阀装置被致动以保持跨越所述超滤模块的超滤膜的大体上恒定的跨膜压力。

9.根据权利要求7所述的方法，还包括在沿着所述再循环管道定位的混合点处将所述超纯水流与渗透物结合，使得所述阀装置定位在所述混合点的上游。

10.根据权利要求7所述的方法，其中，所述再循环泵被配置成以大于所述预定值的压力将所述流体输送到所述超滤模块。