[发明专利]玻璃基板及层叠基板有效
| 申请号： | 201780056935.3 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109715572B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 泽村茂辉;小野和孝 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | C03C3/085 | 分类号： | C03C3/085;B32B17/06;C03C3/087;C03C3/091;C03C17/06;H01L23/15 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李书慧;赵青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 层叠 | ||
1.一种玻璃基板，作为母组成，以氧化物基准的摩尔百分率计含有SiO2：50～70％、Al2O3：2～8％、B2O3：0％、MgO：0～5％、CaO：0～6％、SrO：7～14％、BaO：16～35％、MgO+CaO+SrO+BaO：25～40％，
Y2O3、La2O3和TiO2的合计含量为0.5％以下，
碱金属氧化物的含量以氧化物基准的摩尔百分率计为0～0.1％，
失透温度粘性为103.2dPa·s以上，
30℃～220℃下的平均热膨胀系数α为8.00～9.00ppm/℃。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板，用于半导体封装用的支撑基板。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板，其中，光弹性常数C为10～26nm/cm/MPa。
4.一种玻璃基板，用于半导体封装用的支撑基板，
作为母组成，以氧化物基准的摩尔百分率计含有SiO2：50～70％、Al2O3：2～8％、B2O3：0％、MgO：0～5％、CaO：0～6％、SrO：7～14％、BaO：16～35％、MgO+CaO+SrO+BaO：25～40％，
Y2O3、La2O3和TiO2的合计含量为0.5％以下，
碱金属氧化物的含量以氧化物基准的摩尔百分率计为0～0.1％，
30℃～220℃下的平均热膨胀系数α为8.00～9.00ppm/℃，
光弹性常数C为10～26nm/cm/MPa。
5.根据权利要求1、2、4中任一项所述的玻璃基板，其中，通过下述式(1)求出的值为81～93，该式(1)表示以氧化物基准的摩尔百分率计的各氧化物的含量的比例的关系，
0.174×(SiO2的含量)－0.012×(Al2O3的含量)+0.317×(B2O3的含量)+0.988×(MgO的含量)+1.715×(CaO的含量)+2.011×(SrO的含量)+2.251×(BaO的含量)+0.076(1)。
6.根据权利要求1、2、4中任一项所述的玻璃基板，其中，以氧化物基准的摩尔百分率计，SiO2和Al2O3的合计含量为60％以上。
7.根据权利要求1、2、4中任一项所述的玻璃基板，其中，在厚度1mm时波长360nm的光的透射率为15％以上。
8.根据权利要求1、2、4中任一项所述的玻璃基板，其中，失透温度为1250℃以下。
9.根据权利要求1、2、4中任一项所述的玻璃基板，其中，杨氏模量为65GPa以上。
10.根据权利要求1、2、4中任一项所述的玻璃基板，其中，厚度为2.0mm以下。
11.根据权利要求1、2、4中任一项所述的玻璃基板，其中，所述玻璃基板的一个主表面的面积为70～7000cm2。
12.根据权利要求1、2、4中任一项所述的玻璃基板，其中，所述玻璃基板的主表面的形状为圆形。
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