[发明专利]检测方法及检测装置在审
申请号: | 201780057034.6 | 申请日: | 2017-06-15 |
公开(公告)号: | CN109716170A | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 角间央章;坂田健典 | 申请(专利权)人: | 株式会社斯库林集团 |
主分类号: | G01V8/10 | 分类号: | G01V8/10;B05C11/00;B05C11/08 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 宋晓宝;陈林 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 落下 供给期间 喷嘴 拍摄 喷嘴供给液体 检测 检测工序 检测装置 拍摄结果 种检测 开口 视野 | ||
1.一种检测方法,包括:
拍摄工序,在停止向一个以上的喷嘴中的对象喷嘴供给液体的非供给期间,将液体从该对象喷嘴的开口落下时的落下路径包含于拍摄视野中来进行拍摄;以及
检测工序,使用所述拍摄工序中的拍摄结果来检测有无所述液体落下。
2.根据权利要求1所述的检测方法,其中,
所述拍摄视野是被供给所述液体的对象物的上方的区域,
在所述拍摄工序中,检测从位于所述对象物的上方的所述对象喷嘴有无液体落下。
3.根据权利要求2所述的检测方法,其中,还包括:
退避工序,紧接着所述拍摄工序,使所述对象喷嘴从所述对象物的上方退避。
4.根据权利要求2所述的检测方法,其中,还包括:
供给工序,紧接着所述拍摄工序,从所述对象喷嘴向所述对象物供给所述液体。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的检测方法,其中,
所述一个以上的喷嘴包括由一体地移动的多个喷嘴构成的喷嘴组、以及单体地移动的喷嘴,
所述对象喷嘴至少包括所述喷嘴组。
6.一种检测装置,具有:
一个以上的喷嘴;
拍摄部,在停止向所述一个以上的喷嘴中的对象喷嘴供给液体的非供给期间,拍摄液体从该对象喷嘴的开口落下时的落下路径;以及
检测部,使用所述拍摄部中的拍摄结果来检测有无所述液体落下。
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