[发明专利]检测方法及检测装置

说明书

本发明提供一种检测非供给期间内有无液体落下的技术。在停止向一个以上的喷嘴中的对象喷嘴供给液体的非供给期间，进行将液体从该对象喷嘴的开口落下时的落下路径包含于拍摄视野中而进行拍摄的拍摄工序，以及使用拍摄工序中的拍摄结果来检测有无液体落下的检测工序。由此，能够在停止向对象喷嘴供给液体的非供给期间检测有无液体从该对象喷嘴落下。

技术领域

本发明涉及一种检测有无液体在非预想的时机从喷嘴落下的技术。

背景技术

已知一种在对基板等对象物供给液体的处理中判定是否适当地供给液体的技术。

例如，在专利文献1所记载的技术中，将拍摄在即将供给液体前位于基板的上方的喷嘴的开口周边所得的图像与拍摄在供给液体时位于基板的上方的喷嘴的开口周边所得的图像相比。由此，在该技术中，能够在向喷嘴供给液体的供给期间判定是否如所预期地从喷嘴向对象物供给液体。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2015-173148号公报。

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在上述技术中，无法在停止向喷嘴供给液体的非供给期间检测液体是否从喷嘴落下。例如，在安装于从液体供给源至喷嘴的流路中的开闭阀上产生微小的伤痕的情况下等，有可能发生流路内的液体在开闭阀的下游侧漏出而发生如上述的液体的落下。

由于非供给期间内的液体的落下(即，在非预期的时机的液体落下)是造成使对象物的成品率降低的原因，因此有关检测这样的落下的有无尚有改善的余地。

本发明是鉴于上述课题而提出的，其目的在于提供一种检测有无液体在非供给期间落下的技术。

解决问题的技术方案

第一实施方式的检测方法包括：拍摄工序，在停止向一个以上的喷嘴中的对象喷嘴供给液体的非供给期间，将液体从该对象喷嘴的开口落下时的落下路径包含于拍摄视野中来进行拍摄；以及检测工序，使用所述拍摄工序中的拍摄结果来检测有无所述液体落下。

第二实施方式的检测方法根据第一实施方式的检测方法，其中，所述拍摄视野是被供给所述液体的对象物的上方的区域，在所述拍摄工序中，检测从位于所述对象物的上方的所述对象喷嘴有无液体落下。

第三实施方式的检测方法根据第二实施方式的检测方法，其中，还包括：退避工序，紧接着所述拍摄工序，使所述对象喷嘴从所述对象物的上方退避。

第四实施方式的检测方法根据第二实施方式的检测方法，其中，还包括：供给工序，紧接着所述拍摄工序，从所述对象喷嘴向所述对象物供给所述液体。

第五实施方式的检测方法根据第一实施方式至第四实施方式中任一实施方式的检测方法，其中，所述一个以上的喷嘴包括由一体地移动的多个喷嘴构成的喷嘴组、以及单体地移动的喷嘴，所述对象喷嘴至少包括所述喷嘴组。

第六实施方式的检测装置具有：一个以上的喷嘴；拍摄部，在停止向所述一个以上的喷嘴中的对象喷嘴供给液体的非供给期间，拍摄液体从该对象喷嘴的开口落下时的落下路径；以及检测部，使用所述拍摄部中的拍摄结果来检测有无所述液体落下。

发明效果

在第一实施方式至第五实施方式的检测方法及第六实施方式的检测装置中，能够在停止向对象喷嘴供给液体的非供给期间检测有无液体从该对象喷嘴落下。

附图说明

图1是包含基板处理装置的基板处理系统的一个实施方式的俯视图。

图2是示出基板处理装置1A的构造的俯视图。

图3是从图2的III-III剖面示出基板处理装置1A的剖视图及控制部的结构的图。