[发明专利]含酚羟基树脂及抗蚀剂材料有效
| 申请号： | 201780060031.8 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN109790264B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 今田知之;长江教夫 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | C08G8/36 | 分类号： | C08G8/36;C07D251/34;C08G65/34;G03F7/032 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 羟基 树脂 抗蚀剂 材料 | ||
1.一种含酚羟基树脂，其为下述结构式(1)所示的双萘酚化合物(a1)与氰脲酰卤(a2)的反应产物，且多分散系数Mw/Mn为1.01～1.30的范围，数均分子量Mn为500以下的成分的含量以由GPC图的面积比算出的值计为0.1～3.0％的范围，
式中X表示碳原子数1～14的烃基，R1各自独立地为脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳烷基中的任意者，m为0、1或2，n为0或1～4的整数。
2.根据权利要求1所述的含酚羟基树脂，其含有下述结构式(2)所示的多核体化合物(A)作为必需成分，该多核体化合物(A)的含量以由GPC图的面积比算出的值计为35％以上，
式中X表示碳原子数1～14的烃基，R1各自独立地为脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳烷基中的任意者，m为0、1或2，n为0或1～4的整数。
3.根据权利要求1所述的含酚羟基树脂，其中，含有下述结构式(2)所示的多核体化合物(A)、及所述结构式(2)中的一个酚羟基被下述结构式(3)取代而成的化合物(B)作为必需成分，两者的合计含量以由GPC图的面积比算出的值计为50～99％的范围，
式(2)中X表示碳原子数1～14的烃基，R1各自独立地为脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳烷基中的任意者，m为0、1或2，n为0或1～4的整数，
式(3)中X表示碳原子数1～14的烃基，R1各自独立地为脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳烷基中的任意者，R为卤素原子，m为0、1或2，n为0或1～4的整数。
4.一种固化性组合物，其含有权利要求1～3中任一项所述的含酚羟基树脂和固化剂。
5.一种固化物，其为权利要求4所述的固化性组合物的固化物。
6.根据权利要求4所述的固化性组合物，其为抗蚀剂材料。
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