[发明专利]多通道流量比例控制器与处理腔室

权利要求书

1.一种装置，包含：

第一流量比例控制器，所述第一流量比例控制器包含第一多个流量控制器；

第二流量比例控制器，所述第二流量比例控制器包含第二多个流量控制器；

气体注入插入件，所述气体注入插入件包含第一部分与第二部分，其中所述第一部分包含第一多个通道，且所述第二部分包含第二多个通道；以及

多个气体线，所述多个气体线将所述第一与第二多个流量控制器连接至所述第一与第二多个通道，其中所述多个气体线的一或多个气体线的每一个连接至所述第一多个通道的通道以及所述第二多个通道的通道。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述第一多个通道包含九个通道，且所述第二多个通道包含九个通道。

3.如权利要求2所述的装置，其中所述第一多个流量控制器包含五个流量控制器且所述第二多个流量控制器包含五个流量控制器。

4.如权利要求3所述的装置，其中所述多个气体线的所述一或多个气体线包含八个气体线，且所述八个气体线的每一个连接至所述第一与第二多个流量控制器的相异的流量控制器。

5.如权利要求1所述的装置，其中所述第一多个通道包含十一个通道，且所述第二多个通道包含十一个通道。

6.如权利要求5所述的装置，其中所述第一多个流量控制器包含六个流量控制器且所述第二多个流量控制器包含六个流量控制器。

7.如权利要求6所述的装置，其中所述多个气体线的所述一或多个气体线包含十个气体线，且所述十个气体线的每一个连接至所述第一与第二多个流量控制器的相异的流量控制器。

8.一种装置，包含：

第一流量比例控制器，所述第一流量比例控制器包含第一多个流量控制器以及第一流量控制器；

第二流量比例控制器，所述第二流量比例控制器包含第二多个流量控制器以及第二流量控制器；

气体注入插入件，所述气体注入插入件包含第一部分与第二部分，其中所述第一部分包含第一多个通道与第一内侧通道，且所述第二部分包含第二多个通道与第二内侧通道；

多个气体线，所述多个气体线将所述第一与第二多个流量控制器连接至所述第一与第二多个通道；

第一气体线，所述第一气体线将所述第一流量控制器连接至所述第一内侧通道；以及

第二气体线，所述第二气体线将所述第二流量控制器连接至所述第二内侧通道。

9.如权利要求8所述的装置，其中所述多个气体线的每一个连接至所述第一多个通道的通道以及所述第二多个通道的通道。

10.如权利要求8所述的装置，其中所述第一多个流量控制器的每一个连接至所述第一多个通道的通道以及所述第二多个通道的通道，且所述第二多个流量控制器的每一个连接至所述第一多个通道的通道以及所述第二多个通道的通道。

11.如权利要求8所述的装置，其中所述第一多个通道包含八个通道，且所述第二多个通道包含八个通道，以及所述第一多个流量控制器包含四个流量控制器且所述第二多个流量控制器包含四个流量控制器。