[发明专利]压电振子及其制造方法

权利要求书

1.一种压电振子的制造方法，包含：

准备具有压电片、分别在上述压电片的第一主面以及第二主面上设置为隔着上述压电片对置的一对激励电极、以及分别与上述一对激励电极电连接的一对连接电极的压电振动元件的工序；

通过含有导电性粒子的导电性保持部件，将上述一对连接电极与设置在基座部件的第三主面的一对电极焊盘电连接，并且在上述基座部件的上述第三主面上将上述压电振动元件保持为能够进行激励的保持工序；以及

使从导电部件飞散的导电材料附着在上述导电性保持部件的表面的附着工序，

上述附着工序包含使上述一对电极焊盘的一部分飞散到上述导电性保持部件。

2.根据权利要求1所述的压电振子的制造方法，其中，

在从上述压电片的上述第一主面的法线方向俯视时上述导电性保持部件的一部分设置在与上述压电振动元件相比突出到外侧的位置。

3.根据权利要求1或者2中任意一项所述的压电振子的制造方法，其中，

在从上述压电片的上述第一主面的法线方向俯视时上述导电部件的一部分设置在与上述压电振动元件相比突出到外侧的位置。

4.根据权利要求1或者2所述的压电振子的制造方法，其中，

上述附着工序是在减压状态下向上述导电部件以及上述导电性保持部件照射离子的离子铣削工序。

5.根据权利要求1或者2所述的压电振子的制造方法，其中，

上述附着工序包含使上述一对连接电极的一部分飞散到上述导电性保持部件。

6.根据权利要求1或者2所述的压电振子的制造方法，其中，

上述一对激励电极具有设置在上述压电片的上述第一主面的第一激励电极和设置在上述压电片的上述第二主面的第二激励电极，

上述第二主面位于接近上述基座部件的上述第三主面的一侧，

上述一对连接电极具有设置在上述压电片的上述第二主面并且与上述第一激励电极电连接的第一连接电极和设置在上述压电片的上述第二主面并且与上述第二激励电极电连接的第二连接电极，

上述第二连接电极从上述压电片的上述第二主面延伸到上述第一主面。

7.根据权利要求1或者2所述的压电振子的制造方法，其中，

在上述基座部件的上述第三主面设置有包围上述压电振动元件的导电性的密封框，

上述附着工序包含使导电材料从上述密封框飞散。

8.根据权利要求7所述的压电振子的制造方法，其中，

上述密封框具有朝向上述导电性保持部件，处在俯视上述基座部件的上述第三主面时不与上述压电振动元件重合的位置，并且向密封空间的内侧突出的突出部。

9.根据权利要求7所述的压电振子的制造方法，其中，还具备：

浮动电极，其配置在上述导电性保持部件的周边，且不与上述密封框接触，而与周围电绝缘，

上述附着工序包含使导电材料从上述浮动电极飞散。

10.根据权利要求1或者2所述的压电振子的制造方法，其中，

上述附着工序包含形成上述导电性保持部件被上述导电材料覆盖的第一区域、和与上述第一区域相邻且上述导电性保持部件露出的第二区域的工序。

11.根据权利要求1或者2所述的压电振子的制造方法，其中，

上述导电材料包含与上述导电性粒子相比，氧化稳定度优异的材料。

12.根据权利要求1或者2所述的压电振子的制造方法，其中，

上述导电材料与上述导电性粒子相比比重较高。

13.根据权利要求1或者2所述的压电振子的制造方法，其中，

上述导电材料包含金。