[发明专利]压电振子及其制造方法

说明书

压电振子的制造方法包含：准备具有压电片(11)、分别在压电片(11)的第一主面(12a)以及第二主面(12b)上设置为隔着压电片(11)对置的一对激励电极(14a、14b)、以及分别与一对激励电极(14a、14b)电连接的一对连接电极(16a、16b)的压电振动元件(10)的工序；通过含有导电性粒子(53)的导电性保持部件(36a、36b)，将一对连接电极(16a、16b)与设置在基座部件(30)的第三主面(32a)的一对电极焊盘(33a、33b)电连接，并且在基座部件(30)的第三主面(32a)上将压电振动元件(10)保持为能够进行激励的保持工序；以及使从导电部件飞散的导电材料(59)附着于导电性保持部件(36a、36b)的表面(55)的附着工序。

技术领域

本发明涉及压电振子及其制造方法。

背景技术

振荡装置、频带滤波器等所使用的基准信号的信号源广泛地使用压电振子。例如通过准备压电振动元件，并经由导电性保持部件将该压电振动元件固定于基座部件来制造压电振子。作为一个例子，压电振动元件从频率特性的精度、稳定性的观点来看使用石英振动元件。例如在专利文献1公开了具有基部以及从该基部的一端部延伸突出的一对振动臂的音叉型的石英振动片、以AT切割等规定的切割角切出的进行厚度切变振动的石英振动片等。另外，导电性保持部件是使含有导电性粒子的热固化性树脂固化后的部件，将设置在基座部件的电极焊盘与设置在压电振动元件的连接电极电连接。

专利文献1：日本特开2009－303097号公报

在导电性粘合剂被进行热固化工序以及退火工序等热处理时，有导电性保持部件所包含的导电性粒子氧化之虞。因此，若由于压电振子的小型化而导电性保持部件的体积减少，则有导电性保持部件的表面积的相对于体积的比率变高，导电性粒子的氧化物的影响增加，而导电性保持部件的电阻增加的可能性。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，目的在于提供能够实现电可靠性的提高的压电振子及其制造方法。

本发明的一方式所涉及的压电振子的制造方法包含：准备具有压电片、在上述压电片的第一主面以及第二主面上设置为隔着上述压电片对置的一对激励电极、以及分别与上述一对激励电极电连接的一对连接电极的压电振动元件的工序；通过含有导电性粒子的导电性保持部件，将上述一对连接电极与设置在基座部件的第三主面的一对电极焊盘电连接，并且在上述基座部件的上述第三主面上将上述压电振动元件保持为能够进行激励的保持工序；以及使从导电部件飞散的导电材料附着在上述导电性保持部件的表面的附着工序。

本发明的其它的一方式所涉及的压电振子具备：压电振动元件，其具有压电片、在上述压电片的第一主面以及第二主面上设置为隔着上述压电片对置的一对激励电极、以及分别与上述一对激励电极电连接的一对连接电极；基座部件，其具有设置了一对电极焊盘的第三主面；导电性保持部件，其含有导电性粒子，分别将上述一对电极焊盘与上述一对连接电极电连接，并且在上述基座部件的上述第三主面上将上述压电振动元件保持为能够进行激励；以及导电材料，其设置在除了与上述压电振动元件的界面之外的上述导电性保持部件的表面的至少一部分，上述导电材料由与上述一对电极焊盘的最外层相同的导电材料形成。

根据本发明，能够提供能够实现电可靠性的提高的压电振子及其制造方法。

附图说明

图1是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的压电振子的构成的分解立体图。

图2是示意地表示图1所示的压电振子的沿着II－II线的剖面的构成的剖视图。

图3是图1所示的压电振子的俯视图。

图4是图1所示的压电振动元件的角的附近的放大立体图。

图5是表示本发明的一实施方式所涉及的压电振子的制造方法的流程图。

图6是表示本发明的一实施方式所涉及的附着工序的图。