[发明专利]光合波器

权利要求书

1.一种光合波器(100～105)，具备：

两个输入波导(21、22；21A、22A)，由半导体材料制成；

一个输出波导(31；31A)，由半导体材料制成；

多模干涉部(10；11)，由半导体材料制成，具有入射端面(10a；11a)以及出射端面(10b；11b)，该入射端面连接所述输入波导，该出射端面与所述入射端面对置并连接了所述输出波导，所述多模干涉部具有与所述输入波导(21、22；21A、22A)以及所述输出波导(31；31A)的波导宽度相比更宽的波导宽度；以及

两个无用光波导(41、42；41A、42A)，由半导体材料制成，以夹着所述输出波导(31；31A)的方式连接于所述多模干涉部(10；11)的所述出射端面(10b；11b)，

所述无用光波导(41、42；41A、42A)中的各个无用光波导满足单模条件。

2.根据权利要求1所述的光合波器(100～105)，其中，

所述无用光波导(41、42；41A、42A)中的各个无用光波导相对于所述输出波导(31；31A)以大于0度且小于85度的角度延伸。

3.根据权利要求1或2所述的光合波器(101)，其中，

所述多模干涉部(11)包括锥形部(TP1)，该锥形部(TP1)具有朝所述出射端面(11b)的锥形形状。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的光合波器(102)，其中，

所述无用光波导(41、42)中的各个无用光波导具有一方端以及与该一方端相对的另一方端，该一方端连接于所述多模干涉部(10)的所述出射端面(10b)，

所述光合波器(102)还具备吸收层(61、62)，该吸收层(61、62)连接于所述无用光波导(41、42)各自的所述另一方端，且吸收来自所述无用光波导(41、42)中的各个无用光波导的光。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的光合波器(103)，其中，

所述输出波导(31A)包括具有自所述出射端面(10b)的锥形形状的锥形部(TP4)。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的光合波器(103)，其中，

所述输入波导(21A、22A)中的各个输入波导包括具有自所述入射端面(10a)的锥形形状的锥形部(TP2、TP3)。

7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的光合波器(104)，其中，

所述无用光波导(41A、42A)中的各个无用光波导包括具有自所述出射端面(10b)的锥形形状的锥形部(TP5、TP6)。

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的光合波器(105)，其中，

所述两个无用光波导(41、42)包括第一无用光波导(41)以及第二无用光波导(42)，该第一无用光波导(41)具有波导宽度W1a，该第二无用光波导(42)具有波导宽度W1b，所述第一无用光波导(41)以及所述第二无用光波导(42)分别具有面向折射率n的介质的第一末端面(E41)以及第二末端面(E42)，所述第一末端面(E41)以及所述第二末端面(E42)分别相对于所述输出波导(31)形成角度фa以及角度фb，将真空中的光的波长设为λ₀，满足

фa＞λ₀/(π·W1a·n)+π/2

且

фb＞λ₀/(π·W1b·n)+π/2。