[发明专利]弯曲的后扫描电极在审
| 申请号： | 201780064062.0 | 申请日： | 2017-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109863572A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 法兰克·辛克莱;丹尼尔·泰格尔;艾德沃·W·比尔;罗伯特·林德柏格 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极 扫描 传播方向 离子束 垂直 离子束产生器 扫描电极 扫描系统 弯曲形状 | ||
1.一种设备，包括：
离子束产生器，提供离子束；
扫描系统，接收所述离子束，所述扫描系统包括第一扫描板与第二扫描板，位于所述离子束的相对两侧上，所述第一扫描板与所述第二扫描板从所述离子束产生经扫描束，所述经扫描束具有扫描原点及视在扫描原点；以及
电极，接收所述经扫描束，所述电极的至少一部分具有弯曲形状以实质上维持所述视在扫描原点的位置。
2.根据权利要求1所述的设备，其中所述电极位于所述扫描系统的下游且位置紧邻所述扫描系统的所述第一扫描板及所述第二扫描板。
3.根据权利要求1所述的设备，其中所述电极位于所述扫描系统的下游。
4.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一扫描板及所述第二扫描板包括平行部分及位于所述平行部分下游的分叉部分。
5.根据权利要求1所述的设备，进一步包括位于所述电极上游的前扫描电极。
6.根据权利要求1所述的设备，其中所述经扫描束具有扇形束包络线，所述扇形束包络线起始于所述扫描原点且被所述电极接收，且其中所述视在扫描原点与所述扫描原点重叠。
7.一种方法，包括：
产生离子束；
接收所述离子束且从所述离子束提供经扫描束，所述经扫描束具有扫描原点及视在扫描原点；以及
由弯曲的电极接收所述经扫描束，当所述经扫描束穿过所述弯曲的电极时，所述经扫描束的所述视在扫描原点的位置实质上得到维持。
8.根据权利要求7所述的方法，其中扫描系统接收所述离子束并从所述离子束提供所述经扫描束，所述扫描系统包括位于所述离子束的相对两侧上的第一扫描板与第二扫描板。
9.根据权利要求8所述的方法，其中所述第一扫描板及所述第二扫描板包括平行部分及位于所述平行部分下游的分叉部分。
10.根据权利要求8所述的方法，其中所述经扫描束的所述扫描原点与所述视在扫描原点位于所述第一扫描板与所述第二扫描板之间。
11.根据权利要求8所述的方法，其中所述经扫描束具有扇形束包络线，所述扇形束包络线起始于所述扫描原点，且其中所述视在扫描原点与所述扫描原点重叠。
12.一种设备，包括：
离子束产生器，提供离子束；
扫描系统，接收所述离子束，所述扫描系统包括：
第一扫描板与第二扫描板，位于所述离子束的相对两侧上，所述第一扫描板与所述第二扫描板从所述离子束产生经扫描束，所述经扫描束具有扫描原点及视在扫描原点；
减速透镜，设置在所述第一扫描板及所述第二扫描板的上游，所述减速透镜使所述离子束减速；以及
电极，接收所述经扫描束，所述电极的至少一部分具有弯曲形状以实质上维持所述视在扫描原点的位置。
13.根据权利要求12所述的设备，其中所述电极位于所述扫描系统的下游且位置紧邻所述扫描系统的所述第一扫描板及所述第二扫描板。
14.根据权利要求12所述的设备，进一步包括设置在所述电极上游的前扫描电极。
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