[发明专利]具有亚波长厚度的压电层的弹性波器件

权利要求书

1.一种弹性波器件，包括：

压电层，其具有在从-10°到60°的切割角度范围内的切割角度；

位于所述压电层上的叉指型换能器电极，所述叉指型换能器电极被配置为生成具有波长λ的弹性波，所述叉指型换能器电极具有在从0.02λ到0.1λ的第一厚度范围内的厚度，并且所述压电层具有小于λ的厚度；以及

高速层，其具有比所述弹性波的速度更高的体速度，并且被配置为抑制所述弹性波在反谐振时从所述压电层泄露。

2.根据权利要求1所述的弹性波器件，进一步包括温度补偿层，其设置在所述高速层和所述压电层之间。

3.根据权利要求1所述的弹性波器件，其中，所述高速层是硅层。

4.根据权利要求1所述的弹性波器件，其中，所述压电层包括铌酸锂层。

5.根据权利要求1所述的弹性波器件，其中，所述压电层包括钽酸锂层。

6.根据权利要求1所述的弹性波器件，其中，所述叉指型换能器电极的厚度位于0.05λ和0.1λ之间。

7.根据权利要求1所述的弹性波器件，其中，所述切割角度位于从15°到35°的范围内。

8.根据权利要求1所述的弹性波器件，其中，所述压电层的厚度位于从0.35λ到0.8λ的第二厚度范围内。

9.根据权利要求1所述的弹性波器件，其中，所述叉指型换能器电极包括铝。

10.根据权利要求1所述的弹性波器件，其中，所述高速层粘合到所述压电层且与所述压电层物理接触。

11.一种弹性波器件，包括：

铌酸锂层，其具有位于从-10°到60°的切割角度范围内的切割角度；

位于所述铌酸锂层上的叉指型换能器电极，所述叉指型换能器电极被配置为生成具有波长λ的弹性波，并且所述铌酸锂层具有位于从0.35λ到0.8λ的厚度范围内的厚度；

高速层，其具有比所述弹性波的速度更高的体速度，所述高速层被配置为抑制所述弹性波在反谐振时从所述铌酸锂层泄露；以及

温度补偿层，其设置在所述高速层和所述铌酸锂层之间，所述温度补偿层具有频率的正温度系数，所述弹性波器件被布置为使得具有至少26％的机电耦合系数。

12.根据权利要求11所述的弹性波器件，其中，所述温度补偿层是二氧化硅层。

13.根据权利要求11所述的弹性波器件，其中，所述温度补偿层具有小于0.5λ的厚度。

14.根据权利要求11所述的弹性波器件，其中，所述切割角度位于从-10°到30°的范围内。

15.一种弹性波器件，包括：

钽酸锂层，其具有位于从-10°到50°的切割角度范围内的切割角度；

位于所述钽酸锂层上的叉指型换能器电极，所述叉指型换能器电极被配置为生成具有波长λ的弹性波，并且所述钽酸锂层具有小于λ的厚度；

高速层，其具有比所述弹性波的速度更高的体速度，所述高速层被配置为抑制所述弹性波在反谐振时从所述钽酸锂层泄露；以及

温度补偿层，其设置在所述高速层和所述钽酸锂层之间，所述温度补偿层具有频率的正温度系数。

16.根据权利要求15所述的弹性波器件，其中，所述温度补偿层是二氧化硅层。

17.根据权利要求15所述的弹性波器件，其中，所述温度补偿层具有小于0.5λ的厚度。