[发明专利]压力控制阀、用于光刻设备的流体处理结构和光刻设备

权利要求书

1.一种压力控制阀，包括：

通路，其具有限定用于使液体和/或气体流动通过的开口的部分；

阻塞构件，其能够相对于所述开口移位，以将所述开口阻塞不同的量，由此调节通过所述开口的液体和/或气体的体积流率；

压电致动器；以及

连杆机构，其适于放大所述压电致动器的尺寸改变的量，并且使用放大后的尺寸改变来使所述阻塞构件相对于所述开口移位，

其中，所述连杆机构包括多个构件，所述构件的第一构件和第二构件附接到壁并且在第一构件和第二构件的第一端处相对于所述通路被固定，所述多个构件的可移动构件连接至第一构件和第二构件的第二端，并且所述可移动构件能够通过第一构件和第二构件的变形在第一方向上移动，同时在与所述第一方向正交的第二方向上基本上被约束，所述压电致动器能够在其第一端处枢转且在所述壁与所述可移动构件之间延伸并具有枢转连接至所述可移动构件的第二端，使得所述压电致动器的膨胀引起所述可移动构件在所述第一方向上移动的量大于所述压电致动器的膨胀量，所述可移动构件连接到所述阻塞构件。

2.如权利要求1所述的压力控制阀，其中，所述压电致动器被设置为与所述第二方向成至少2°的角度和/或与所述第二方向成45°或更小的角度。

3.如权利要求1所述的压力控制阀，其中，所述阻塞构件被布置为使得所述阻塞构件在所有位置处均与所述通路的限定所述开口的部分分隔开。

4.如权利要求1所述的压力控制阀，其中，所述压电致动器在所述通路外部。

5.如权利要求1至4中任一项所述的压力控制阀，还包括柔性部分，所述柔性部分限定所述通路的侧壁的一部分，所述柔性部分适于以无摩擦的方式使所述连杆机构能够挠曲以将运动从所述通路的外部传递到所述通路的内部，由此使所述阻塞构件移位。

6.如权利要求5所述的压力控制阀，其中，所述柔性部分是波纹管。

7.如权利要求5所述的压力控制阀，其中，所述柔性部分包括金属。

8.如权利要求7所述的压力控制阀，其中，所述金属包括镍或镍合金，或者是不锈钢或钛或钛合金。

9.如权利要求1至4中任一项所述的压力控制阀，还包括位于所述通路中的阻塞物，所述阻塞物被放置和成形为将通过所述通路的液体和/或气体流分隔成两个单独流，由此避免在所述压力控制阀中形成涡流。

10.如权利要求1至4中任一项所述的压力控制阀，还包括压力传感器和/或位置传感器，所述压力传感器定位在所述开口下游，所述位置传感器用于测量所述阻塞构件的位置。

11.如权利要求10所述的压力控制阀，还包括控制器，所述控制器适于至少部分地基于反馈回路来控制所述压力控制阀，所述反馈回路包括指示来自所述压力传感器的压力的信号和/或指示来自所述位置传感器的所述阻塞构件的位置的信号。

12.如权利要求1至4中任一项所述的压力控制阀，其中，所述连杆机构还包括通路中的杠杆，所述杠杆用于放大所述压电致动器的尺寸改变的量。

13.如权利要求12所述的压力控制阀，其中，所述杠杆具有在所述杠杆的第一端处的支点，所述阻塞构件位于与所述杠杆的所述第一端相对的所述杠杆的第二端处，使得来自所述压电致动器的力施加于所述杠杆的所述第一端与所述杠杆的所述第二端之间。