[发明专利]压电振动器件的频率调整方法有效
| 申请号： | 201780066350.X | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109891744B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 山下弘晃 | 申请（专利权）人： | 株式会社大真空 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;孙明轩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 振动 器件 频率 调整 方法 | ||
1.一种压电振动器件的频率调整方法，通过减少音叉型压电振动片的振动臂上形成的调整用金属膜的质量来进行频率调整，其特征在于：包括
粗调整工序，通过将所述调整用金属膜的一部分薄壁化或去除而进行频率的粗调整；及
微调整工序，通过将所述粗调整工序中从被薄壁化或被去除的调整用金属膜产生的生成物的至少一部分薄壁化或去除而进行频率的微调整，
对调整用金属膜的在所述粗调整工序中未被薄壁化或未被去除而余留下的区域，不进行所述微调整工序中的微调整。
2.如权利要求1所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
在所述微调整工序中，从所述调整用金属膜所产生的生成物的靠振动臂前端侧的边缘开始，朝着振动臂的根部侧，将所述生成物薄壁化或去除。
3.如权利要求1所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
在所述微调整工序中，从朝着振动臂的根部方向离开所述调整用金属膜所产生的生成物的靠振动臂前端侧的边缘的部位开始，朝着振动臂的根部侧，将所述生成物薄壁化或去除。
4.如权利要求1至3中任一项所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
容置所述音叉型压电振动片的压电振动器件俯视呈近似矩形，其俯视时的外形尺寸为，长边在1.6mm以下，短边在1.0mm以下，
在所述粗调整工序前，所述调整用金属膜的厚度在0.003mm以上。
5.如权利要求1至3中任一项所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
容置所述音叉型压电振动片的压电振动器件俯视呈近似矩形，其俯视时的外形尺寸为，长边在1.2mm以下，短边在1.0mm以下，
在所述粗调整工序前，所述调整用金属膜的厚度在0.010mm以上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社大真空，未经株式会社大真空许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201780066350.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
