[发明专利]压电振动器件的频率调整方法

说明书

本发明的目的在于提供一种能对应于超小型化、且能不降低频率调整精度地进行频率调整的压电振动器件的频率调整方法。本发明所涉及的音叉型石英晶体谐振器的频率调整方法是通过减少音叉型石英晶体振动片(1)的振动臂(31、32)上形成的调整用金属膜(W)的质量，来进行频率调整，该方法包括，通过将调整用金属膜(W)的一部分薄壁化或去除而进行频率的粗调整的粗调整工序、和通过将粗调整工序中从所述调整用金属膜(W)产生的生成物(W1、W2)的至少一部分薄壁化或去除而进行频率的微调整的微调整工序。

技术领域

本发明涉及一种用于电子设备等的压电振动器件的频率调整方法。

背景技术

作为钟表等的时钟源而被广泛使用的音叉型石英晶体谐振器例如被构成为，图8所示的音叉形状的音叉型石英晶体振动片7(以下简称“振动片7”)通过接合材料而接合在上部开口的箱状容器(省略图示)内部，所述开口部分被平板状的盖子(省略图示)气密密封。

所述振动片7包括基端部8、和从该基端部的一端向同一方向延伸的一对振动臂9、9，一对振动臂9、9的各前端侧的一个主面上形成有用于调整频率的调整用金属膜10。具体而言，在一对振动臂9、9的各前端侧的一个主面上形成有，用于将形成在一支振动臂9的外侧面和内侧面上的激发电极电连接的迂回电极11(遍及振动臂前端部分的整周)，该迂回电极11上形成有调整用金属膜10。但图8中只示出了迂回电极11的一部分。

所述音叉型石英晶体谐振器的制造工序中有频率调整工序。有关该频率调整工序，参照图8、图9进行说明。频率调整工序是指，为了使振动片的频率移到规定的目标频率范围内，而对形成在振动臂9、9的一个主面的前端区域的调整用金属膜10、10进行激光束等照射，通过消减调整用金属膜10、10的质量来进行频率调整的工序。具体而言，所述频率调整工序包括进行频率的粗调整的粗调整工序、和进行频率的微调整的微调整工序。在此，为方便起见，图9中示出使振动臂9等转动了90度的状态。

通过消减调整用金属膜10的质量，可使振动片7的振荡频率升高，但即便在调整用金属膜10的区域内，振动臂9的前端侧、和朝着振动臂9的根部方向离开所述前端侧的部分相应于质量消减而产生的频率变化量(频率调整灵敏度)也不同。换言之，与振动臂9的根部侧相比，振动臂9的前端侧的所述灵敏度更高(对于同一质量，前端部分比离开前端侧的部分频率变化量大)。因此，如图8、图9所示那样，将调整用金属膜10的形成区域区分为粗调整区域10a和微调整区域10b，利用位于振动臂9的前端侧的粗调整区域10a进行频率的粗调整之后，再利用位于振动臂9的根部侧的微调整区域10b进行频率的微调整这样的两阶段调整方法常被采用。这样的调整用金属膜的结构例如已在专利文献1中公开。

参照图9，对用激光束对所述调整用金属膜10进行消减(激光修整)的现有技术例进行说明。首先，从振动臂的一个主面的上方对粗调整区域10a照射激光束的同时，使激光束沿着与振动臂9的臂宽平行的方向(与振动臂9的伸长方向垂直的方向，即图8中的箭头所示的方向)扫描。然后，使激光束在调整用金属膜10的区域内从振动臂9的前端侧朝着根部侧的方向移动。此时，到达粗调整工序的目标频率范围为止一直进行激光束扫描，但粗调整结束后也不一定粗调整区域10a的金属膜全部被消减掉，有时会成为只有一部分区域被消减掉而其它区域被留下的状态。同样，微调整区域10b有时也会成为在微调整结束后微调整区域10b的一部分区域仍被留下的状态。

近年，由于音叉型石英晶体谐振器的超小型化，能够形成调整用金属膜10的区域也变得窄小化，所以前述的现有技术的频率调整方法难以确保充分的调整区域(调整量)。因此，需要使调整用金属膜10厚膜化，通过增加金属膜的质量来确保调整量。然而，使调整用金属膜10厚膜化又会出现以下问题。