[发明专利]对准机构、卡盘装置及贴合装置

权利要求书

1.一种卡盘装置，具备：

卡盘部，具有吸附卡盘对象的吸附面；

基部，支承所述卡盘部；以及

对准机构，进行使卡盘对象吸附于所述卡盘部的吸附面时的该卡盘对象的位置调整，

所述对准机构具备：

旋转部，具有第一旋转轴；

三个动力传递机构，分别轴支承于所述旋转部中偏离所述第一旋转轴的三个不同的位置；以及

三个对准作用部，通过所述三个动力传递机构分别被传递所述旋转部的旋转从而进行动作，

所述三个动力传递机构各自具备：

第一臂，具有轴支承于所述三个不同的位置中的对应的位置的第一端部、以及位于该第一端部的相反侧的第二端部；

第二臂，具有第二旋转轴，并且在与该第二旋转轴不同的位置轴支承于所述第一臂的第二端部；

轴部，所述轴部以使所述轴部的中心线与所述第二旋转轴一致的方式连接到所述第二臂，并且所述轴部与该第二臂联动地围绕所述第二旋转轴旋转；以及

第三臂，所述第三臂连接到所述轴部的与所述第二臂的连接端部的相反侧的端部，

所述三个对准作用部设置在所述三个动力传递机构所具备的所述第三臂各自的顶端部，

所述三个动力传递机构各自所具备的所述轴部在以所述第一旋转轴为中心的不同的三个方向上离开所述旋转部的三个位置在贯穿所述基部的状态下轴支承于该基部，所述旋转部相对于所述基部配置在所述卡盘部的相反侧，且所述三个对准作用部配置在所述卡盘部的吸附面的周围。

2.一种贴合装置，具备：

第一卡盘部与第二卡盘部，所述第一卡盘部与所述第二卡盘部是分别具有吸附贴合对象的吸附面的一对卡盘部，并且使彼此的所述吸附面对置地配置；

第一基部与第二基部，分别支承所述第一卡盘部以及第二卡盘部；以及

对准机构，进行使贴合对象吸附于所述第一卡盘部的吸附面时的该贴合对象的位置调整，

所述对准机构具备：

旋转部，具有第一旋转轴；

三个动力传递机构，分别轴支承于所述旋转部中偏离所述第一旋转轴的三个不同的位置；以及

三个对准作用部，通过所述三个动力传递机构分别被传递所述旋转部的旋转从而进行动作，

所述三个动力传递机构各自具备：

第一臂，具有轴支承于所述三个不同的位置中的对应的位置的第一端部、以及位于该第一端部的相反侧的第二端部；

第二臂，具有第二旋转轴，并且在与该第二旋转轴不同的位置轴支承于所述第一臂的第二端部；

轴部，所述轴部以使所述轴部的中心线与所述第二旋转轴一致的方式连接到所述第二臂，并且所述轴部与该第二臂联动地围绕所述第二旋转轴旋转；以及

第三臂，所述第三臂连接到所述轴部的与所述第二臂的连接端部的相反侧的端部，

所述三个对准作用部设置在所述三个动力传递机构所具备的所述第三臂各自的顶端部，

所述三个动力传递机构各自所具备的所述轴部在以所述第一旋转轴为中心的不同的三个方向上离开所述旋转部的三个位置在贯穿所述第一基部的状态下轴支承于该第一基部，所述旋转部相对于所述第一基部配置在所述第一卡盘部的相反侧，且所述三个对准作用部配置在所述第一卡盘部的吸附面的周围。

3.根据权利要求2所述的贴合装置，其中，

进一步具备驱动部，所述驱动部能够在与所述吸附面垂直的方向上使所述第一基部相对于所述第二基部相对地移动，

通过使所述第一基部与所述第二基部彼此靠近，所述对准机构还被应用于使贴合对象吸附于所述第二卡盘部的吸附面时的该贴合对象的位置调整，

所述三个对准作用部各自具有：

第一抵接部，在吸附于所述第一卡盘部的吸附面上的贴合对象的位置调整时，与该贴合对象的边缘抵接；以及

第二抵接部，在吸附于所述第二卡盘部的吸附面上的贴合对象的位置调整时，与该贴合对象的边缘抵接。

4.根据权利要求3所述的贴合装置，其中，

在所述三个对准作用部各自中，所述第一抵接部以及第二抵接部中的任一者比另一者更向内侧突出。

5.根据权利要求3或4所述的贴合装置，其中，

进一步具备旋转机构，所述旋转机构具有沿着所述吸附面的方向上的旋转轴，并且所述旋转机构能够使所述第一基部以及所述第二基部整体围绕该旋转轴翻转，从而交换所述第一基部与所述第二基部的位置。